Plazma to'g'ridan-to'g'ri polimerizatsiya jarayoni

Plazma to'g'ridan-to'g'ri polimerizatsiya jarayoni

Plazma polimerizatsiyasi jarayoni ichki elektrod polimerizatsiya uskunasi uchun ham, tashqi elektrod polimerizatsiya uskunasi uchun ham nisbatan sodda, ammo plazma polimerizatsiyasida parametr tanlash muhimroqdir, chunki plazma polimerizatsiyasi jarayonida parametrlar polimer plyonkalarining tuzilishi va ishlashiga ko'proq ta'sir qiladi.

To'g'ridan-to'g'ri plazma polimerizatsiyasi uchun operatsiya bosqichlari quyidagicha:

(1) changni tozalash

Vakuum sharoitida polimerizatsiya fon vakuumini 1,3 × 10-1 Pa ga pompalash kerak.Kislorod yoki azot miqdorini nazorat qilish uchun maxsus talablarni talab qiladigan polimerizatsiya reaktsiyalari uchun fon vakuum talabi yanada yuqori.

(2) Zaryad reaktsiyasi monomeri yoki tashuvchi gaz va monomerning aralash gazi

Vakuum darajasi 13-130Pa.Ishni talab qiladigan plazma polimerizatsiyasi uchun tegishli oqim nazorat qilish rejimi va oqim tezligi tanlanishi kerak, odatda 10,100 ml/min.Plazmada monomer molekulalari energetik zarrachalarni bombardimon qilish orqali ionlanadi va dissotsilanadi, natijada ionlar va faol genlar kabi faol zarralar paydo bo'ladi.Plazma tomonidan faollashtirilgan faol zarralar gaz fazasi va qattiq faza interfeysida plazma polimerizatsiyasidan o'tishi mumkin.Monomer plazma polimerizatsiyasi uchun kashshof manbai bo'lib, kirish reaktsiyasi gazi va monomer ma'lum bir tozalikka ega bo'lishi kerak.

(3) qo'zg'atuvchi quvvat manbai tanlash

Plazma polimerizatsiya uchun plazma muhitini ta'minlash uchun DC, yuqori chastotali, RF yoki mikroto'lqinli quvvat manbalari yordamida yaratilishi mumkin.Elektr ta'minotini tanlash polimerning tuzilishi va ishlashiga qo'yiladigan talablar asosida aniqlanadi.

(4) Bo'shatish rejimini tanlash

Polimer talablari uchun plazma polimerizatsiyasi ikkita tushirish rejimini tanlashi mumkin: uzluksiz tushirish yoki pulsli tushirish.

(5) Chiqarish parametrlarini tanlash

Plazma polimerizatsiyasini o'tkazishda plazma parametrlari, polimer xususiyatlari va struktura talablaridan kelib chiqqan holda tushirish parametrlarini hisobga olish kerak.Polimerizatsiya jarayonida qo'llaniladigan quvvatning kattaligi vakuum kamerasining hajmi, elektrod hajmi, monomer oqim tezligi va tuzilishi, polimerizatsiya tezligi va polimer tuzilishi va ishlashi bilan belgilanadi.Misol uchun, agar reaktsiya kamerasining hajmi 1L bo'lsa va RF plazma polimerizatsiyasi qabul qilinsa, tushirish quvvati 10 ~ 30 Vt oralig'ida bo'ladi.Bunday sharoitda hosil bo'lgan plazma ishlov beriladigan qismning yuzasida nozik bir plyonka hosil qilish uchun yig'ilishi mumkin.Plazma polimerizatsiya plyonkasining o'sish tezligi quvvat manbai, monomer turi va oqim tezligi va jarayon sharoitlariga qarab o'zgaradi.Odatda, o'sish tezligi 100nm / min ~ 1um / min.

(6) Plazma polimerizatsiyasida parametrlarni o'lchash

Plazma polimerizatsiyasida o'lchanadigan plazma parametrlari va jarayon parametrlariga quyidagilar kiradi: tushirish kuchlanishi, oqim oqimi, tushirish chastotasi, elektron harorati, zichlik, reaktsiya guruhining turi va konsentratsiyasi va boshqalar.

——Ushbu maqola Guangdong Zhenhua Technology tomonidan chop etilgan, aoptik qoplama mashinalari ishlab chiqaruvchisi.