Sputtering qoplama mashinasining jarayon oqimi

1. Bombardimonlarni tozalash uchun substrat

1.1) Sputtering qoplama mashinasi substratni tozalash uchun porlash oqimidan foydalanadi.Ya'ni, argon gazini kameraga zaryadlang, deşarj kuchlanishi 1000V atrofida, quvvat manbai yoqilgandan so'ng, porlash deşarj hosil bo'ladi va substrat argon ioni bombardimoni bilan tozalanadi.

1.2) Sanoatda yuqori darajadagi bezaklarni ishlab chiqaradigan purkagich qoplama mashinalarida, asosan, tozalash uchun kichik yoy manbalari chiqaradigan titanium ionlari ishlatiladi.Qoplama mashinasi kichik yoy manbai bilan jihozlangan va kichik yoy manbai deşarj natijasida hosil bo'lgan yoy plazmasidagi titanium ion oqimi substratni bombardimon qilish va tozalash uchun ishlatiladi.

2. Titanium nitridli qoplama

Titanium nitridi yupqa plyonkalarni yotqizishda, püskürtme uchun maqsadli material titanium nishonidir.Maqsadli material püskürtme quvvat manbaining salbiy elektrodiga ulangan va maqsadli kuchlanish 400 ~ 500V;Argon oqimi qat'iy belgilangan va nazorat vakuum (3 ~ 8) x10^-1PA.Substrat 100 ~ 200 V kuchlanishli kuchlanish manbaining salbiy elektrodiga ulangan.

Titan nishonining elektr ta'minoti yoqilgandan so'ng, porlash oqimi hosil bo'ladi va yuqori energiyali argon ionlari titan atomlarini nishondan otilib chiqadigan nishonni bombardimon qiladi.

Reaksiyaga gaz azot kiritiladi va titan atomlari va azot qoplama kamerasida titanium ionlari va azot ionlariga ionlanadi.Substratga qo'llaniladigan salbiy egilish elektr maydonini jalb qilish ostida, titanium ionlari va azot ionlari kimyoviy reaktsiya va titanium nitridi plyonka qatlamini hosil qilish uchun cho'kish uchun substrat yuzasiga tezlashadi.

3. Substratni chiqarib oling

Oldindan belgilangan plyonka qalinligiga yetganingizdan so'ng, purkash quvvat manbai, substratning quvvat manbai va havo manbasini o'chiring.Substrat harorati 120 ℃ dan past bo'lgandan so'ng, qoplama kamerasini havo bilan to'ldiring va substratni chiqarib oling.

Ushbu maqola tomonidan nashr etilganmagnetronli püskürtme qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi- Guangdong Chjenxua.