Bo'shliq katod ionlarini qoplash jarayoni quyidagicha:
1, Chin ingotlarini yiqilish joyiga qo'ying.
2, Ish qismini o'rnatish.
3, 5 × 10-3Pa ga evakuatsiya qilingandan so'ng, argon gazi kumush naychadan qoplama kamerasiga kiritiladi va vakuum darajasi 100Pa atrofida bo'ladi.
4, Tarmoqli quvvatni yoqing.
5、Katodning ichi bo'sh zaryadini yoqish uchun yoy quvvatini yoqgandan so'ng. Yorqin razryad tugma trubkasida hosil bo'ladi, Bo'shatish kuchlanishi 800 ~ 1000V, yoyni ko'tarish oqimi 30 ~ 50A. Yonishning ichi bo'sh katod effekti tufayli. razryad, yuqori porlash deşarj oqimi zichligi, kumush trubkadagi kalamush ionlarining yuqori zichligi ustun trubkasi devorini bombardimon qiladi, trubaning devorini elektron oqimining emissiyasiga qadar tez qizdiring, porlashdan tushirish rejimi to'satdan o'zgaradi. kamon zaryadsizlanishi,Kuchlanish 40~70V,Oqim 80~300A.Kumush trubaning harorati 2300K dan yuqoriga etadi, Akkor, Naychadan yuqori zichlikdagi yoy elektronlari oqimini chiqaradi va anodga otiladi.
6, Vakuum darajasini sozlash. Bo'shliq katodli tabancadan porlash uchun vakuum darajasi taxminan 100 Pa ni tashkil qiladi va qoplamaning vakuum darajasi 8 × 10-1 ~ 2 Pa ni tashkil qiladi. Shuning uchun, yoy zaryadsizlanishi yoqilgandan so'ng, kiruvchi argonni kamaytiring. imkon qadar tezroq gaz, vakuum darajasini qoplama uchun mos keladigan diapazonga sozlang.
7、Titan bilan qoplangan taglik qatlami. Anod tarzda yiqilgan Chin metall ingotiga elektron oqimi, Kinetik energiyani issiqlik energiyasiga aylantirish, Chin metallining isitish orqali bug'lanishi, Titan plyonka hosil qilish uchun bug' atomlari ish qismiga etib boradi.
8、TiN ning cho'kishi. Azot gazi qoplama kamerasiga beriladi, Azot gazi va bug'langan atomlar azot va titan ionlariga ionlanadi. Titan ustidagi titan bug'lari atomlarining past energiyali zich oqimlari bilan elastik bo'lmagan to'qnashuvi ehtimoli yuqori, Metall dissotsilanish darajasi 20% ~ 40% gacha., Titan ionlari gaz azot bilan kimyoviy reaksiyaga kirishishi ehtimoli ko'proq, Nitridli mantiya plyonka qatlamini olish uchun cho'kish. Bo'shliq katodli qurol ham bug'lanish manbaidir，Boshqa manba ionlanish. Qoplash vaqtida, Tigel atrofidagi elektromagnit lasanning oqimi ham sozlanishi kerak, Elektron nurni yiqilish markaziga qarating, Shunday qilib, elektron oqimining quvvat zichligi ortadi.
9, Quvvatni o'chiring. Plyonka qalinligi oldindan belgilangan plyonka qalinligiga yetgandan so'ng, yoy quvvat manbaini o'chiring, quvvat manbai va havo ta'minotini o'chiring.
Xabar vaqti: 2023-08-iyul