Ushbu seriyali uskunalar qoplama materiallarini nanometr o'lchamdagi zarrachalarga aylantirish uchun magnetron nishonlaridan foydalanadi, ular yupqa plyonkalar hosil qilish uchun substratlar yuzasiga yotqiziladi.Prokat plyonka vakuum kamerasiga joylashtiriladi.Elektr bilan boshqariladigan o'rash strukturasi orqali bir uchi plyonkani oladi, ikkinchisi esa filmni qo'yadi.U maqsadli hududdan o'tishda davom etadi va zich plyonka hosil qilish uchun maqsadli zarralarni oladi.
Xarakterli:
1. Past haroratli plyonka hosil qilish.Harorat plyonkaga ozgina ta'sir qiladi va deformatsiyaga olib kelmaydi.Bu PET, PI va boshqa asosiy materialning rulonli plyonkalari uchun javob beradi.
2. Kino qalinligi loyihalashtirilishi mumkin.Yupqa yoki qalin qoplamalar loyihalash va jarayonni sozlash orqali yotqizilishi mumkin.
3. Bir nechta maqsadli joylashuv dizayni, moslashuvchan jarayon.Butun mashina sakkizta nishon bilan jihozlanishi mumkin, ular oddiy metall nishonlar yoki aralash va oksidli nishonlar sifatida ishlatilishi mumkin.U bitta tuzilishga ega bo'lgan bir qatlamli plyonkalarni yoki kompozit tuzilishga ega bo'lgan ko'p qatlamli plyonkalarni tayyorlash uchun ishlatilishi mumkin.Jarayon juda moslashuvchan.
Uskunalar elektromagnit himoya plyonka, moslashuvchan elektron plata qoplamasi, turli xil dielektrik plyonkalar, ko'p qatlamli AR antireflektsiyali plyonka, HR yuqori aks ettiruvchi plyonka, rangli plyonka va boshqalarni tayyorlashi mumkin. Uskunalar juda keng ko'lamli dasturlarga ega va bir qatlamli plyonka cho'kindi. bir martalik kino yotqizish bilan yakunlanishi mumkin.
Uskunalar Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl va boshqalar kabi oddiy metall nishonlarni yoki SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO va boshqalar kabi murakkab maqsadlarni qabul qilishi mumkin.
Uskunaning o'lchamlari kichik, konstruktsiyasi ixcham, zamin maydoni kichik, energiya sarfi kam va sozlashda moslashuvchan.Bu jarayonni tadqiq qilish va ishlab chiqish yoki kichik partiyalarni ommaviy ishlab chiqarish uchun juda mos keladi.