Aslida, ion nurlari yordamida cho'kma texnologiyasi kompozit texnologiyadir.Bu ion implantatsiyasi va jismoniy bug 'cho'ktirish plyonka texnologiyasini va yangi turdagi ion nurlari sirtini optimallashtirish texnikasini birlashtirgan kompozit sirt ionlarini tozalash usuli.Jismoniy bug 'cho'kishining afzalliklariga qo'shimcha ravishda, ushbu usul qattiqroq nazorat qilish sharoitida har qanday qalinlikdagi plyonkani doimiy ravishda o'stirishi, plyonka qatlamining kristalliligi va yo'nalishini sezilarli darajada yaxshilashi, plyonka qatlamining / substratning yopishqoqligini oshirishi, zichlikni yaxshilashi mumkin. plyonka qatlamini ajratib oling va xona haroratida va bosim ostida olinmaydigan yangi turdagi plyonkalarni o'z ichiga olgan xona haroratida ideal stokiometrik nisbatlarga ega birikma plyonkalarni sintez qiling.Ion nurlari yordamida yotqizish nafaqat ion implantatsiyasi jarayonining afzalliklarini saqlab qoladi, balki substratni substratdan butunlay boshqa plyonka bilan qoplashi mumkin.
Har qanday jismoniy bug 'cho'kishi va kimyoviy bug'larni cho'ktirishda IBAD tizimini yaratish uchun yordamchi bombardimon ion qurollari to'plami qo'shilishi mumkin va rasmda ko'rsatilganidek, ikkita umumiy IBAD jarayoni mavjud:
Rasm (a) da ko'rsatilganidek, elektron nurli bug'lanish manbai plyonka qatlamini ion tabancasidan chiqarilgan ion nurlari bilan nurlantirish uchun ishlatiladi, bu esa ion nurlari yordamida cho'kishni amalga oshiradi.Afzallik shundaki, ion nurlarining energiyasi va yo'nalishini sozlash mumkin, lekin bug'lanish manbai sifatida faqat bitta yoki cheklangan qotishma yoki birikma ishlatilishi mumkin va qotishma komponenti va birikmasining har bir bug 'bosimi boshqacha bo'lib, bu uni qiyinlashtiradi. asl bug'lanish manbai tarkibining kino qatlamini olish uchun.
(b) rasmda ion nurlarining purkash yordami bilan cho'kishi ko'rsatilgan, bu er-xotin ionli nurli cho'kish deb ham ataladi, bunda ion nurlarini sochuvchi qoplama materialidan tayyorlangan maqsad, sochuvchi mahsulotlar manba sifatida ishlatiladi.Uni substratga yotqizayotganda, ion nurlarining sochilishiga yordam beradigan cho'kma boshqa ion manbai bilan nurlanish orqali amalga oshiriladi.Ushbu usulning afzalligi shundaki, purkalgan zarrachalarning o'zlari ma'lum energiyaga ega, shuning uchun substrat bilan yaxshi yopishish mavjud;Nishonning har qanday komponenti purkalgan qoplama bo'lishi mumkin, shuningdek, plyonkaga reaktsiyali püskürtme bo'lishi mumkin, plyonka tarkibini sozlash oson, lekin uning cho'kish samaradorligi past, maqsad qimmat va selektiv püskürtme kabi muammolar mavjud.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 08-noyabr