Magnetronli püskürtme va katodli ko'p yoyli ion qoplamasining kompozit qoplama uskunalari alohida va bir vaqtning o'zida ishlashi mumkin;sof metall plyonka, metall aralash plyonka yoki kompozit plyonka yotqizilishi va tayyorlanishi mumkin;bir qatlamli plyonka va ko'p qatlamli kompozit plyonka bo'lishi mumkin.
Uning afzalliklari quyidagilardan iborat:
Bu nafaqat turli xil ion qoplamalarining afzalliklarini birlashtiribgina qolmay, balki turli xil qo'llash sohalari uchun yupqa plyonkani tayyorlash va joylashtirishni hisobga oladi, balki bir xil vakuumda ko'p qatlamli monolit plyonkalar yoki ko'p qatlamli kompozit plyonkalarni cho'ktirish va tayyorlashga imkon beradi. bir vaqtning o'zida qoplama kamerasi.
Depozit plyonkali qatlamlarni qo'llashda uning texnologiyalari turli shakllarda keng qo'llaniladi, odatda quyidagilar:
(1) Muvozanatsiz magnetronli püskürtme va katodik ion qoplama texnologiyasining birikmasi.
Uning qurilmasi quyidagicha ko'rsatilgan.Bu ustunli magnetron nishoni va planar katodik yoy ion qoplamasining birikma qoplama uskunasi bo'lib, u ham asboblarni qoplash uchun aralash plyonka, ham dekorativ plyonka qoplamasi uchun mos keladi.Asbob qoplamasi uchun katodik ark ion qoplamasi birinchi navbatda asosiy qatlam qoplamasi uchun ishlatiladi, so'ngra ustunli magnetron nishoni yuqori aniqlikdagi ishlov berish vositasi sirt plyonkasini olish uchun nitrid va boshqa kino qatlamlarini cho'ktirish uchun ishlatiladi.
Dekorativ qoplama uchun TiN va ZrN dekorativ plyonkalari birinchi navbatda katodik yoy qoplamasi bilan yotqizilishi mumkin, so'ngra magnetron nishonlari yordamida metall bilan qo'shilishi mumkin va doping ta'siri juda yaxshi.
(2) Egizak tekislikli magnetron va ustunli katodli yoy ionlarini qoplash texnikasining birikmasi.Qurilma quyidagi tarzda ko'rsatilgan.Bu ilg'or egizak nishon texnologiyasidan foydalaniladi, ikkita yonma-yon egizak nishon o'rta chastotali quvvat manbaiga ulanganda, u nafaqat doimiy to'lqinli oqimning maqsadli zaharlanishini, olovni va boshqa kamchiliklarni bartaraf etadi;va Al203, SiO2 oksidi sifatli plyonkani yotqizishi mumkin, shuning uchun qoplangan qismlarning oksidlanish qarshiligi oshdi va yaxshilandi.Vakuum kamerasining markaziga o'rnatilgan ustunli ko'p yoyli nishon, maqsadli material Ti va Zr dan foydalanish mumkin, bu nafaqat yuqori ko'p yoyli dissotsiatsiya tezligi, cho'kish tezligi afzalliklarini saqlab qolish uchun, balki "tomchilar" ni samarali ravishda kamaytirishi mumkin. kichik tekislikdagi ko'p yoyli maqsadli yotqizish jarayoni, metall plyonkalar, aralash plyonkalarning past porozligini yotqizishi va tayyorlashi mumkin.Agar Al va Si atrof-muhitga o'rnatilgan egizak planar magnetron nishonlari uchun maqsadli materiallar sifatida ishlatilsa, Al203 yoki Si0 metall-keramika plyonkalarini yotqizish va tayyorlash mumkin.Bundan tashqari, ko'p yoyli bug'lanish manbasining bir nechta kichik tekisliklari atrof-muhitga o'rnatilishi mumkin va uning maqsadli materiali Cr yoki Ni bo'lishi mumkin va metall plyonkalar va ko'p qatlamli kompozit plyonkalar yotqizilishi va tayyorlanishi mumkin.Shuning uchun, bu kompozit qoplama texnologiyasi bir nechta ilovalarga ega bo'lgan kompozit qoplama texnologiyasidir.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 08-noyabr