CFM1916

(1) Giá đỡ phôi sử dụng thiết kế hình trụ, với diện tích lớp phủ lớn.Khả năng tải sản phẩm gấp đôi so với thiết bị bay hơi chùm tia điện tử có cùng thông số kỹ thuật.Giá đỡ phôi được thiết kế với cấu trúc xoay và xoay, có thể thích ứng với các phôi có hình dạng khác nhau và được sử dụng rộng rãi hơn.
(2) Sử dụng hệ thống phún xạ mục tiêu hình trụ magnetron tần số trung bình và hệ thống phụ trợ nguồn ion, màng phủ nhỏ gọn, có chiết suất cao và ổn định, độ bám dính mạnh và không dễ hấp thụ các phân tử hơi nước.Trong các môi trường khác nhau, màng duy trì hiệu suất quang học ổn định hơn so với màng được lắng đọng bởi thiết bị bay hơi chùm tia điện tử truyền thống.
(3) Được trang bị hệ thống giám sát điều khiển tinh thể để kiểm soát chính xác độ dày của màng, quá trình này có độ ổn định cao và độ lặp lại tốt.Hệ thống điều khiển tự động và vòng kín SPEEDFLO có thể cải thiện hiệu quả tốc độ lắng đọng của SiO2.
(4) Thiết kế cố định nhiệt có thể kiểm soát hiệu quả nhiệt độ sản phẩm và có thể thích ứng với các sản phẩm PET và PC siêu mỏng.