Thiết bị áp dụng công nghệ bay hơi chùm tia điện tử.Các electron được phát ra từ dây tóc catốt và tập trung vào một dòng chùm nhất định, được gia tốc bởi điện thế giữa catốt và nồi nấu kim loại để làm tan chảy và bay hơi vật liệu phủ.Nó có đặc tính mật độ năng lượng cao và có thể làm bay hơi vật liệu phủ với nhiệt độ nóng chảy hơn 3000 ℃.Bộ phim có độ tinh khiết cao và hiệu suất nhiệt cao.
Thiết bị được trang bị nguồn bay hơi chùm tia điện tử, nguồn ion, hệ thống giám sát độ dày màng, cơ cấu hiệu chỉnh độ dày màng và hệ thống xoay phôi ô ổn định.Thông qua lớp phủ hỗ trợ nguồn ion, độ nén của màng được tăng lên, chỉ số khúc xạ được ổn định và tránh được hiện tượng dịch chuyển bước sóng do độ ẩm.Hệ thống giám sát thời gian thực độ dày màng hoàn toàn tự động có thể đảm bảo tính lặp lại và ổn định của quy trình.Nó được trang bị chức năng tự nóng chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này có thể áp dụng cho các vật liệu phủ oxit và kim loại khác nhau, và có thể được phủ bằng các màng quang học chính xác nhiều lớp, chẳng hạn như màng AR, truyền sóng dài, truyền sóng ngắn, màng làm sáng, màng AS / AF, IRCUT, hệ thống phim màu , hệ thống phim gradient, v.v. Nó đã được sử dụng rộng rãi trong kính AR, ống kính quang học, máy ảnh, ống kính quang học, bộ lọc, ngành công nghiệp bán dẫn, v.v.