GX600

Thiết bị sử dụng cấu trúc cửa trước thẳng đứng và bố trí cụm.Nó có thể được trang bị các nguồn bay hơi cho kim loại và các vật liệu hữu cơ khác nhau, đồng thời có thể làm bay hơi các tấm silicon có thông số kỹ thuật khác nhau.Được trang bị hệ thống căn chỉnh chính xác, lớp phủ ổn định và lớp phủ có độ lặp lại tốt.
Thiết bị phủ GX600 có thể làm bay hơi chính xác, đồng đều và có kiểm soát các vật liệu hữu cơ phát sáng hoặc vật liệu kim loại trên bề mặt.Nó có ưu điểm là tạo màng đơn giản, độ tinh khiết cao và độ nén cao.Hệ thống giám sát thời gian thực độ dày màng hoàn toàn tự động có thể đảm bảo tính lặp lại và ổn định của quy trình.Nó được trang bị chức năng tự nóng chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này có thể được áp dụng cho Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti và các vật liệu kim loại khác, và có thể được phủ bằng màng kim loại, màng lớp điện môi, màng IMD, v.v. nó chủ yếu được sử dụng trong chất bán dẫn công nghiệp, chẳng hạn như các thiết bị điện, lớp phủ chất nền đóng gói phía sau chất bán dẫn, v.v.