HFCVD0606

Buồng phủ chân không của thiết bị lắng đọng hơi hóa học sử dụng cấu trúc làm mát bằng nước hai lớp độc lập, làm mát hiệu quả và đồng đều, đồng thời có cấu trúc an toàn và ổn định.Thiết bị được thiết kế với cửa đôi, nhiều cửa sổ quan sát và nhiều giao diện mở rộng, thuận tiện cho việc kết nối bên ngoài các thiết bị ngoại vi phụ trợ như đo nhiệt độ hồng ngoại, phân tích quang phổ, giám sát video và cặp nhiệt điện.Khái niệm thiết kế tiên tiến giúp cho việc đại tu và bảo trì hàng ngày, thay đổi cấu hình và nâng cấp thiết bị trở nên dễ dàng và đơn giản, đồng thời giảm chi phí sử dụng và nâng cấp một cách hiệu quả.

Tính năng thiết bị:

1. Các thành phần lạm phát của thiết bị chủ yếu bao gồm đồng hồ đo lưu lượng khối lượng, van điện từ và bình trộn khí, đảm bảo kiểm soát chính xác lưu lượng khí của quá trình, trộn đều và cách ly an toàn các loại khí khác nhau, đồng thời có thể chọn các thành phần hệ thống khí để sử dụng nguồn khí lỏng, tạo điều kiện thuận lợi cho việc lựa chọn cá nhân hóa nhiều loại nguồn carbon lỏng và sử dụng an toàn kim cương dẫn điện tổng hợp và nguồn boron lỏng điện cực.
2. Cụm chiết xuất không khí được trang bị một máy bơm chân không cánh quạt quay yên tĩnh và hiệu quả và một hệ thống bơm phân tử turbo có thể nhanh chóng đáp ứng môi trường nền chân không cao.Máy đo chân không hỗn hợp với máy đo điện trở và máy đo ion hóa được sử dụng để đo chân không, cũng như hệ thống máy đo màng điện dung có thể đo áp suất của các loại khí xử lý khác nhau trong phạm vi rộng.Áp suất lắng đọng được điều khiển hoàn toàn tự động bằng van điều khiển tỷ lệ chính xác cao.
3. Thành phần nước làm mát được trang bị áp suất nước đa kênh, đo lưu lượng, đo nhiệt độ và giám sát tự động phần mềm.Các bộ phận làm mát khác nhau độc lập với nhau, thuận tiện cho việc chẩn đoán lỗi nhanh chóng.Tất cả các nhánh đều có công tắc van độc lập, an toàn và hiệu quả.
4. Các thành phần điều khiển điện sử dụng màn hình LCD giao diện người-máy kích thước lớn và hợp tác với điều khiển hoàn toàn tự động PLC để tạo thuận lợi cho việc chỉnh sửa và nhập công thức quy trình.Đường cong đồ họa hiển thị trực quan các thay đổi và giá trị của các thông số khác nhau, đồng thời các thông số của thiết bị và quy trình được tự động ghi lại và lưu trữ để tạo điều kiện theo dõi vấn đề và phân tích thống kê dữ liệu.
5. Giá đỡ phôi được trang bị động cơ servo để điều khiển nâng và hạ bàn đế.Có thể chọn bảng đế bằng than chì hoặc đồng đỏ.Nhiệt độ được đo bằng cặp nhiệt điện.
6. Các thành phần giá đỡ có thể được thiết kế toàn bộ hoặc riêng biệt theo yêu cầu của khách hàng để đáp ứng các yêu cầu xử lý đặc biệt của khách hàng.
7. Các thành phần tấm niêm phong đẹp và trang nhã.Các tấm niêm phong trong các khu vực mô-đun chức năng khác nhau của thiết bị có thể được tháo rời nhanh chóng hoặc đóng mở độc lập, rất thuận tiện khi sử dụng.

Thiết bị CVD dây tóc nóng phù hợp để lắng đọng vật liệu kim cương, bao gồm lớp phủ màng mỏng, màng dày tự hỗ trợ, kim cương vi tinh thể và nano tinh thể, kim cương dẫn điện, v.v. Nó chủ yếu được sử dụng cho lớp phủ bảo vệ chống mài mòn của dụng cụ cắt cacbua xi măng, vật liệu bán dẫn chẳng hạn như silicon và silicon carbide, lớp phủ tản nhiệt của thiết bị, điện cực kim cương dẫn điện pha tạp boron, khử trùng nước điện phân hoặc xử lý nước thải bằng ozone.