Thiết bị tích hợp công nghệ phún xạ magnetron và bay hơi điện trở, đồng thời cung cấp giải pháp phủ nhiều loại chất nền khác nhau.
Thiết bị phủ thử nghiệm chủ yếu được sử dụng trong các trường đại học và viện nghiên cứu khoa học, có thể đáp ứng nhiều yêu cầu thử nghiệm khác nhau.Các mục tiêu cấu trúc khác nhau được dành riêng cho thiết bị, có thể được cấu hình linh hoạt để đáp ứng nghiên cứu khoa học và phát triển trong các lĩnh vực khác nhau.Có thể chọn hệ thống phún xạ magnetron, hệ thống hồ quang catốt, hệ thống bay hơi chùm tia điện tử, hệ thống bay hơi điện trở, CVD, PECVD, nguồn ion, hệ thống thiên vị, hệ thống sưởi ấm, vật cố định ba chiều, v.v.Khách hàng có thể lựa chọn theo nhu cầu khác nhau của họ.
Thiết bị có ngoại hình đẹp, cấu trúc nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, mức độ tự động hóa cao, vận hành đơn giản và linh hoạt, hiệu suất ổn định và dễ bảo trì.
Thiết bị có thể được áp dụng cho nhựa, thép không gỉ, phần cứng mạ điện / các bộ phận bằng nhựa, thủy tinh, gốm sứ và các vật liệu khác.Có thể điều chế các lớp kim loại đơn giản như titan, crom, bạc, đồng, nhôm hoặc màng hợp chất kim loại như TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |