Với sự tăng trưởng nhanh chóng của nhu cầu thị trường để cải thiện khả năng chống mài mòn, bôi trơn, chống ăn mòn và các đặc tính khác của lớp phủ cứng, thiết bị lớp phủ ion lọc hồ quang catốt đã trở thành một điểm nổi bật.Thiết bị sử dụng thiết bị lọc từ tính tiết diện tròn khuỷu tay 90 độ được sử dụng phổ biến và hiệu quả nhất, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt lớn, để phát huy hết lợi thế của công nghệ phủ ion hồ quang catốt.Trong lĩnh vực pha chế sơn siêu cứng DLC, đặc biệt là lĩnh vực pha chế sơn Ta-C với nhiều đặc tính lý hóa ưu việt như độ cứng cao, hệ số ma sát thấp, dẫn nhiệt, cách nhiệt, hấp thụ tia cực tím, chống bức xạ, chống ăn mòn , v.v., những lợi thế đặc biệt đáng kể.Độ cứng trung bình của lớp phủ Ta-C có thể đạt tới khoảng 63GPa.
Thiết bị có thể lắng đọng các lớp phủ carbon giống kim cương lai như Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, thích hợp cho vi khoan, dao phay, vòi, dao cắt hình que, phụ tùng ô tô, thiết bị y tế, v.v. lĩnh vực.
Kết quả kiểm tra phổ Raman bằng laser, phổ Raman của lớp chuyển tiếp Cr trên bề mặt thép tốc độ cao:
Mẫu 20210122, kết quả kiểm tra Raman phù hợp Gaussian (ID/IG=0,224, hàm lượng sp3 đủ cao):
Theo kết quả kiểm tra độ cứng của dụng cụ thụt Nano, độ cứng trung bình của mẫu 20210122 là 62,7GPa:
MFA0605 |
φ600*H500(mm) |