1) Các mục tiêu hình trụ có tỷ lệ sử dụng cao hơn các mục tiêu phẳng.Trong quy trình phủ, cho dù đó là mục tiêu phún xạ hình trụ loại từ tính quay hay ống quay, tất cả các phần trên bề mặt của ống mục tiêu liên tục đi qua khu vực phún xạ được tạo ra trước nam châm vĩnh cửu để nhận được quá trình phún xạ catốt, và mục tiêu có thể được khắc phun đồng đều và tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao.Tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu là khoảng 80% ~ 90%.
2) Các mục tiêu hình trụ sẽ không dễ tạo ra “ngộ độc mục tiêu”.Trong quá trình phủ, bề mặt của ống mục tiêu luôn bị các ion phun ra và ăn mòn, không dễ tích tụ oxit dày và các màng cách điện khác trên bề mặt, không dễ sinh ra “ngộ độc mục tiêu”.
3) Cấu trúc của mục tiêu phún xạ hình trụ kiểu ống mục tiêu quay rất đơn giản và dễ lắp đặt.
4) Vật liệu ống mục tiêu hình trụ có nhiều loại.mục tiêu phẳng với mục tiêu kim loại làm mát trực tiếp bằng nước, và một số mục tiêu hình trụ không thể được xử lý và tạo thành, chẳng hạn như mục tiêu In2-SnO2, v.v. với vật liệu bột để ép đẳng tĩnh nóng để thu được mục tiêu dạng tấm, vì không thể tạo được kích thước lớn, giòn nên phải dùng phương pháp hàn đồng và ốp lưng bằng đồng để tích hợp rồi mới lắp đặt vào đế tiêu.Ngoài ống kim loại, mục tiêu dạng cột còn có thể phun lên bề mặt ống inox bằng các vật liệu cần phủ khác nhau như Si, Cr, v.v.
Hiện nay, tỷ lệ các mục tiêu hình trụ cho lớp phủ trong sản xuất công nghiệp ngày càng tăng.Các mục tiêu hình trụ không chỉ sử dụng cho máy sơn đứng mà còn sử dụng trong máy sơn cuộn để cuộn.Trong những năm gần đây, các mục tiêu song sinh phẳng dần được thay thế bằng các mục tiêu song sinh hình trụ.
——Bài báo này được phát hành bởi Quảng Đông Zhenhua Technology, mộtnhà sản xuất máy sơn quang học.
Thời gian đăng: May-11-2023