Công nghệ lắng đọng hơi hóa học (CVD) là công nghệ tạo màng sử dụng nhiệt, tăng cường plasma, hỗ trợ quang học và các phương tiện khác để làm cho các chất khí tạo ra màng rắn trên bề mặt chất nền thông qua phản ứng hóa học dưới áp suất bình thường hoặc thấp.
Nói chung, phản ứng trong đó chất phản ứng là chất khí và một trong những sản phẩm là chất rắn được gọi là phản ứng CVD.Có nhiều loại lớp phủ được điều chế bằng phản ứng CVD, đặc biệt là trong quá trình bán dẫn.Ví dụ, trong lĩnh vực bán dẫn, việc tinh chế nguyên liệu thô, chuẩn bị màng đơn tinh thể bán dẫn chất lượng cao và sự phát triển của màng đa tinh thể và vô định hình, từ thiết bị điện tử đến mạch tích hợp, đều liên quan đến công nghệ CVD.Ngoài ra, việc xử lý bề mặt vật liệu được mọi người ưa chuộng.Ví dụ, các vật liệu khác nhau như máy móc, lò phản ứng, hàng không vũ trụ, thiết bị y tế và hóa chất có thể được sử dụng để chuẩn bị các lớp phủ chức năng chống ăn mòn, chịu nhiệt, chống mài mòn và tăng cường bề mặt bằng phương pháp tạo màng CVD theo các yêu cầu khác nhau của chúng.
—— Bài báo này được xuất bản bởi Quảng Đông Zhenhua, một nhà sản xuấtthiết bị sơn chân không
Thời gian đăng: Mar-04-2023