① Khả năng kiểm soát tốt và độ lặp lại của độ dày màng
Liệu độ dày màng có thể được kiểm soát ở một giá trị định trước hay không được gọi là khả năng kiểm soát độ dày màng.Độ dày màng yêu cầu có thể được lặp lại nhiều lần, được gọi là độ lặp lại độ dày màng. Bởi vì dòng xả và dòng mục tiêu của lớp phủ phún xạ chân không có thể được kiểm soát riêng.Do đó, độ dày của màng phún xạ có thể kiểm soát được và màng có độ dày xác định trước có thể được lắng đọng một cách đáng tin cậy.Ngoài ra, lớp phủ phún xạ có thể thu được màng có độ dày đồng đều trên bề mặt lớn.
② Độ bám dính mạnh giữa màng và chất nền
Năng lượng của các nguyên tử phún xạ cao hơn 1-2 bậc so với năng lượng của các nguyên tử bốc hơi.Sự chuyển đổi năng lượng của các nguyên tử phún xạ năng lượng cao lắng đọng trên đế cao hơn nhiều so với các nguyên tử bay hơi, tạo ra nhiệt cao hơn và tăng cường độ bám dính giữa các nguyên tử phún xạ và đế.Ngoài ra, một số nguyên tử phún xạ năng lượng cao tạo ra các mức độ phun khác nhau, tạo thành một lớp giả khuếch tán trên đế.Ngoài ra, chất nền luôn được làm sạch và kích hoạt trong vùng plasma trong quá trình tạo màng, giúp loại bỏ các nguyên tử phún xạ có độ bám dính yếu, đồng thời làm sạch và kích hoạt bề mặt chất nền.Do đó, màng phún xạ có độ bám dính mạnh với đế.
③ Có thể chuẩn bị phim tài liệu mới khác với mục tiêu
Nếu khí phản ứng được đưa vào trong quá trình phún xạ để làm cho nó phản ứng với mục tiêu, thì có thể thu được màng vật liệu mới hoàn toàn khác với mục tiêu.Ví dụ, silicon được sử dụng làm mục tiêu phún xạ, oxy và argon được đưa vào buồng chân không cùng nhau.Sau khi phún xạ có thể thu được màng cách điện SiOz.Sử dụng titan làm mục tiêu phún xạ, nitơ và argon được đưa vào buồng chân không cùng nhau và có thể thu được màng giống như vàng TiN sau khi phún xạ.
④ Độ tinh khiết cao và chất lượng phim tốt
Vì không có thành phần nồi nấu kim loại trong thiết bị chuẩn bị màng phún xạ, nên các thành phần của vật liệu gia nhiệt nồi nấu kim loại sẽ không bị trộn lẫn trong lớp màng phún xạ.Nhược điểm của lớp phủ phún xạ là tốc độ tạo màng chậm hơn so với lớp phủ bay hơi, nhiệt độ bề mặt cao hơn, dễ bị ảnh hưởng bởi khí tạp chất và cấu trúc thiết bị phức tạp hơn.
Bài viết này được xuất bản bởi Quảng Đông Zhenhua, một nhà sản xuấtthiết bị sơn chân không
Thời gian đăng: 09-03-2023