Quy trình phủ ion catốt rỗng

Quá trình phủ ion catốt rỗng như sau:

1、Đặt thỏi Chin vào trong hộp thu gọn.

2、Gắn phôi.

3、Sau khi hút chân không đến 5×10-3Pa, khí argon được đưa vào buồng phủ từ ống bạc và mức chân không là khoảng 100Pa.

4、Bật công suất phân cực.

5、Sau khi bật nguồn hồ quang để đốt cháy phóng điện cực âm rỗng. Phóng điện phát sáng được tạo ra trong ống nút, Điện áp phóng điện là 800 ~ 1000V, Dòng điện tăng hồ quang là 30 ~ 50A. Do hiệu ứng phát sáng cực âm rỗng phóng điện, Mật độ dòng phóng điện phát sáng cao, Mật độ cao của các ion chuột trong ống bạc bắn phá thành ống thuận lợi, Làm cho thành ống nóng lên nhanh chóng do dòng điện tử phát ra, chế độ phóng điện từ phóng điện phát sáng thay đổi đột ngột thành phóng hồ quang, Điện áp là 40 ~ 70V, Dòng điện là 80 ~ 300A. Nhiệt độ ống bạc đạt trên 2300K, Sợi đốt, Phát ra một dòng điện tử hồ quang mật độ cao từ ống và bắn tới cực dương.

6、Điều chỉnh mức chân không. Mức chân không để phóng điện phát sáng từ súng cathode rỗng là khoảng 100 Pa, và mức độ chân không của lớp phủ là 8×10-1~2Pa. Do đó, sau khi đánh lửa phóng điện hồ quang, giảm argon đi vào khí càng sớm càng tốt, Điều chỉnh mức chân không đến phạm vi phù hợp với lớp phủ.

7、Lớp đế mạ titan. Dòng điện tử chảy vào phôi kim loại Chin được anốt hóa, Chuyển đổi động năng thành nhiệt năng, Làm bay hơi kim loại Chin bằng cách nung nóng, Các nguyên tử hơi tiếp cận phôi để tạo thành màng titan.

8、Lắng đọng TiN. Khí nitơ được cung cấp cho buồng phủ, Khí nitơ và các nguyên tử bay hơi được ion hóa thành các ion nitơ và titan. Trên nồi nấu kim loại, Xác suất cao hơn về sự va chạm không đàn hồi của các nguyên tử hơi titan với dòng điện tử năng lượng thấp dày đặc, Tỷ lệ phân ly kim loại cao tới 20% ~ 40%.,Các ion titan có nhiều khả năng phản ứng hóa học với nitơ khí phản ứng,Lắng đọng để thu được lớp màng phủ nitrit. Súng catốt rỗng vừa là nguồn hóa hơi，Một nguồn khác của quá trình ion hóa. Trong quá trình phủ, Dòng điện của cuộn dây điện từ xung quanh chén nung cũng phải được điều chỉnh, Tập trung chùm tia điện tử vào tâm của sự sụp đổ, Do đó, mật độ năng lượng của dòng điện tử được tăng lên.

9、Tắt nguồn. Sau khi độ dày màng đạt đến độ dày màng định trước, hãy tắt nguồn cung cấp năng lượng hồ quang、nguồn cung cấp năng lượng thiên vị và cung cấp không khí.