Trong quá trình phủ bay hơi, quá trình tạo mầm và phát triển của lớp phim là cơ sở của nhiều công nghệ phủ ion khác nhau
1. Tạo mầm
Incông nghệ sơn bay hơi chân không, sau khi các hạt của lớp màng được bốc hơi khỏi nguồn bay hơi ở dạng nguyên tử, chúng bay trực tiếp đến phôi trong môi trường chân không cao và tạo thành lớp màng bằng cách tạo mầm và phát triển trên bề mặt phôi.Trong quá trình bay hơi chân không, năng lượng của các nguyên tử lớp màng thoát ra khỏi nguồn bay hơi là khoảng 0,2eV.Khi lực dính giữa các hạt của lớp màng lớn hơn lực liên kết giữa các nguyên tử của lớp màng và phôi, tạo thành hạt nhân đảo.Một nguyên tử lớp màng duy nhất ở trên bề mặt phôi trong khoảng thời gian thực hiện chuyển động không đều, khuếch tán, di chuyển hoặc va chạm với các nguyên tử khác để tạo thành cụm nguyên tử. Số lượng nguyên tử trong cụm nguyên tử đạt đến một giá trị tới hạn nhất định, ổn định hạt nhân được tạo thành gọi là hạt nhân đồng hình.
mịn và chứa nhiều khuyết tật và bậc thang, gây ra sự khác biệt về lực hấp phụ của các phần khác nhau của phôi đối với các nguyên tử phóng xạ.Năng lượng hấp phụ của bề mặt khuyết tật lớn hơn năng lượng hấp phụ của bề mặt bình thường nên nó trở thành trung tâm hoạt động, có lợi cho quá trình tạo mầm ưu tiên, gọi là quá trình tạo mầm dị thể.Khi lực kết dính bằng lực liên kết, hoặc lực liên kết giữa các nguyên tử màng và phôi lớn hơn lực kết dính giữa các nguyên tử màng, cấu trúc dạng phiến được hình thành.Trong công nghệ mạ ion, lõi đảo được hình thành trong hầu hết các trường hợp.
2.Tăng trưởng
Khi lõi của màng được hình thành, nó tiếp tục phát triển bằng cách bẫy các nguyên tử tới. Các đảo phát triển và kết hợp với nhau để tạo thành các bán cầu lớn hơn, dần dần tạo thành một lớp đảo hình bán cầu trải rộng trên bề mặt phôi.
Khi năng lượng nguyên tử của lớp màng cao, nó có thể khuếch tán đủ trên bề mặt và một màng liên tục mịn có thể được hình thành khi các cụm nguyên tử tới tiếp theo nhỏ. Nếu sự khuếch tán của các nguyên tử trên bề mặt yếu và kích thước của các cụm lắng đọng lớn, chúng tồn tại dưới dạng hạt nhân bán đảo lớn. Phần trên cùng của lõi đảo có hiệu ứng bóng mờ mạnh đối với phần lõm, đó là “hiệu ứng bóng tối”. Hình chiếu của bề mặt thuận lợi hơn cho việc bắt giữ các nguyên tử lắng đọng tiếp theo và tăng trưởng ưu tiên, dẫn đến mức độ lõm ngày càng tăng trên bề mặt để tạo thành các tinh thể hình nón hoặc cột có kích thước đủ lớn.Các khoảng trống xuyên thấu được hình thành giữa các tinh thể hình nón và giá trị độ nhám bề mặt tăng lên. Mô mịn có thể thu được ở độ chân không cao, với mức độ chân không giảm, cấu trúc vi mô của màng ngày càng dày hơn.
Thời gian đăng: 24-05-2023