Quá trình phủ ion nguồn hồ quang catốt về cơ bản giống như các công nghệ phủ khác và một số thao tác như lắp phôi và hút bụi không còn lặp lại.
1.Làm sạch phôi
Trước khi sơn phủ, khí argon được đưa vào buồng sơn với độ chân không 2×10-2Pa.
Bật nguồn cung cấp năng lượng phân cực xung, với chu kỳ hoạt động là 20% và độ phân giải phôi là 800-1000V.
Khi bật nguồn hồ quang, một luồng ánh sáng hồ quang trường lạnh được tạo ra, phát ra một lượng lớn dòng điện tử và dòng ion titan từ nguồn hồ quang, tạo thành plasma mật độ cao.Ion titan tăng tốc độ phun của nó vào phôi dưới áp suất phân cực cao âm áp dụng cho phôi, bắn phá và phun ra khí dư và các chất ô nhiễm hấp phụ trên bề mặt phôi, đồng thời làm sạch và tinh chế bề mặt của phôi;Đồng thời, khí clo trong buồng sơn bị ion hóa bởi các electron và các ion argon đẩy nhanh quá trình bắn phá bề mặt phôi.
Do đó, hiệu quả làm sạch bắn phá là tốt.Chỉ khoảng 1 phút làm sạch bắn phá là có thể làm sạch phôi, quá trình này được gọi là “bắn phá hồ quang chính”.Do khối lượng ion titan cao, nếu sử dụng nguồn hồ quang nhỏ để bắn phá và làm sạch phôi quá lâu, nhiệt độ của phôi dễ bị quá nóng và lưỡi dao có thể bị mềm.Trong sản xuất chung, các nguồn hồ quang nhỏ được bật lần lượt từ trên xuống dưới và mỗi nguồn hồ quang nhỏ có thời gian làm sạch bắn phá khoảng 1 phút.
（1）Lớp phủ titan dưới cùng
Để cải thiện độ bám dính giữa màng và chất nền, một lớp chất nền titan nguyên chất thường được phủ trước khi phủ titan nitride.Điều chỉnh mức chân không thành 5×10-2-3×10-1Pa, điều chỉnh điện áp phân cực phôi thành 400-500V và điều chỉnh chu kỳ làm việc của nguồn cung cấp năng lượng phân cực xung thành 40% ~ 50%.Vẫn đánh lửa từng nguồn hồ quang nhỏ để tạo ra phóng điện hồ quang trường lạnh.Do giảm điện áp phân cực âm của phôi, năng lượng của các ion titan giảm.Sau khi đến phôi, hiệu ứng phún xạ nhỏ hơn hiệu ứng lắng đọng và một lớp chuyển tiếp titan được hình thành trên phôi để cải thiện lực liên kết giữa lớp màng cứng titan nitride và chất nền.Quá trình này cũng chính là quá trình nung nóng phôi.Khi mục tiêu titan nguyên chất được thải ra, ánh sáng trong plasma có màu xanh lam.
1. Lớp phủ màng cứng bát ammoniated
Điều chỉnh độ chân không thành 3×10-1-5Pa, điều chỉnh điện áp phân cực phôi thành 100-200V và điều chỉnh chu kỳ làm việc của nguồn cung cấp năng lượng phân cực xung thành 70% ~ 80%.Sau khi nitơ được đưa vào, titan là phản ứng kết hợp với plasma phóng điện hồ quang để lắng đọng màng cứng titan nitride.Tại thời điểm này, ánh sáng của plasma trong buồng chân không có màu đỏ anh đào.Nếu C2H2, ô2, vv được giới thiệu, TiCN, TiO2, vv có thể thu được các lớp phim.
–Bài viết này được phát hành bởi Quảng Đông Zhenhua, mộtnhà sản xuất máy sơn chân không
Thời gian đăng bài: Jun-01-2023