Mạ ion chân không (gọi tắt là mạ ion) là một công nghệ xử lý bề mặt mới được phát triển nhanh chóng vào những năm 1970, được đề xuất bởi DM Mattox của Công ty Somdia, Hoa Kỳ vào năm 1963. Nó đề cập đến quá trình sử dụng nguồn bay hơi hoặc phún xạ. mục tiêu làm bay hơi hoặc phún xạ vật liệu màng trong môi trường chân không.
Đầu tiên là tạo ra hơi kim loại bằng cách làm nóng và làm bay hơi vật liệu màng, được ion hóa một phần thành hơi kim loại và các nguyên tử trung tính năng lượng cao trong không gian plasma phóng khí, và chạm tới chất nền để tạo thành màng thông qua tác động của điện trường ;loại thứ hai sử dụng các ion năng lượng cao (Ví dụ: Ar +) bắn phá bề mặt của vật liệu màng để các hạt phún xạ bị ion hóa thành các ion hoặc nguyên tử trung tính năng lượng cao thông qua không gian phóng khí và nhận ra bề mặt của chất nền để tạo thành một bộ phim.
Bài viết này được xuất bản bởi Quảng Đông Zhenhua, một nhà sản xuấtthiết bị sơn chân không
Thời gian đăng: 10-03-2023