1, Sự hình thành các hợp chất kim loại trên bề mặt mục tiêu
Đâu là hợp chất được hình thành trong quá trình hình thành hợp chất từ bề mặt mục tiêu kim loại bằng quá trình phún xạ phản ứng?Do phản ứng hóa học giữa các hạt khí phản ứng và các nguyên tử bề mặt mục tiêu tạo ra các nguyên tử hợp chất, thường tỏa nhiệt nên nhiệt phản ứng phải có cách thoát ra ngoài, nếu không phản ứng hóa học không thể tiếp tục.Trong điều kiện chân không, không thể truyền nhiệt giữa các chất khí nên phản ứng hóa học phải diễn ra trên bề mặt chất rắn.Phún xạ phản ứng tạo ra các hợp chất trên bề mặt mục tiêu, bề mặt chất nền và các bề mặt cấu trúc khác.Mục tiêu tạo ra các hợp chất trên bề mặt chất nền, tạo ra các hợp chất trên các bề mặt cấu trúc khác là lãng phí tài nguyên và tạo ra các hợp chất trên bề mặt mục tiêu bắt đầu như một nguồn nguyên tử hợp chất và trở thành rào cản đối với việc cung cấp liên tục nhiều nguyên tử hợp chất hơn.
2, Các yếu tố tác động của ngộ độc mục tiêu
Yếu tố chính ảnh hưởng đến việc đầu độc mục tiêu là tỷ lệ khí phản ứng và khí phún xạ, quá nhiều khí phản ứng sẽ dẫn đến ngộ độc mục tiêu.Quá trình phún xạ phản ứng được thực hiện trong khu vực kênh phún xạ bề mặt mục tiêu dường như được bao phủ bởi hợp chất phản ứng hoặc hợp chất phản ứng bị tước và tái lộ bề mặt kim loại.Nếu tốc độ tạo hợp chất lớn hơn tốc độ loại bỏ hợp chất, diện tích bao phủ hợp chất sẽ tăng lên.Ở một công suất nhất định, lượng khí phản ứng tham gia tạo hợp chất tăng và tốc độ tạo hợp chất tăng.Nếu lượng khí phản ứng tăng quá mức, diện tích bao phủ hợp chất sẽ tăng.Và nếu không thể điều chỉnh kịp thời tốc độ dòng khí phản ứng, thì tốc độ tăng diện tích bao phủ của hợp chất sẽ không bị triệt tiêu và kênh phún xạ sẽ được bao phủ thêm bởi hợp chất, khi mục tiêu phún xạ được bao phủ hoàn toàn bởi hợp chất, mục tiêu là bị đầu độc hoàn toàn.
3, Hiện tượng trúng độc mục tiêu
(1) tích tụ ion dương: khi mục tiêu bị nhiễm độc, một lớp màng cách điện sẽ được hình thành trên bề mặt mục tiêu, các ion dương đến bề mặt mục tiêu catốt do lớp cách điện bị tắc.Không trực tiếp đi vào bề mặt mục tiêu catốt, nhưng tích tụ trên bề mặt mục tiêu, dễ tạo ra trường lạnh để phóng hồ quang - hồ quang, do đó quá trình phún xạ catốt không thể tiếp tục.
(2) Biến mất cực dương: khi mục tiêu bị nhiễm độc, thành buồng chân không nối đất cũng lắng đọng màng cách điện, các electron đến cực dương không thể đi vào cực dương, hình thành hiện tượng biến mất cực dương.
4, Lý giải vật lý trúng độc mục tiêu
(1) Nói chung, hệ số phát xạ electron thứ cấp của hợp chất kim loại cao hơn kim loại.Sau khi đầu độc mục tiêu, bề mặt của mục tiêu đều là hợp chất kim loại, sau khi bị ion bắn phá, số lượng electron thứ cấp được giải phóng tăng lên, giúp cải thiện độ dẫn điện của không gian và giảm trở kháng plasma, dẫn đến điện áp phún xạ thấp hơn.Điều này làm giảm tốc độ phún xạ.Nói chung, điện áp phún xạ của phún xạ magnetron nằm trong khoảng 400V-600V và khi xảy ra ngộ độc mục tiêu, điện áp phún xạ giảm đáng kể.
(2) Tốc độ phún xạ ban đầu của mục tiêu kim loại và mục tiêu hỗn hợp là khác nhau, nói chung, hệ số phún xạ của kim loại cao hơn hệ số phún xạ của hợp chất, do đó tốc độ phún xạ thấp sau khi đầu độc mục tiêu.
(3) Hiệu suất phún xạ của khí phún xạ phản ứng ban đầu thấp hơn hiệu suất phún xạ của khí trơ, do đó tốc độ phún xạ toàn diện giảm sau khi tỷ lệ khí phản ứng tăng lên.
5, Giải pháp tiêu độc
(1) Sử dụng nguồn điện tần số trung bình hoặc nguồn điện tần số vô tuyến.
(2) Áp dụng điều khiển vòng kín của dòng khí phản ứng.
(3) Áp dụng mục tiêu kép
(4) Kiểm soát sự thay đổi của chế độ phủ: Trước khi phủ, đường cong hiệu ứng trễ của đầu độc mục tiêu được thu thập để luồng không khí đầu vào được kiểm soát ở phía trước tạo ra đầu độc mục tiêu để đảm bảo rằng quá trình luôn ở chế độ trước khi lắng đọng tỷ lệ giảm mạnh.
–Bài báo này được xuất bản bởi Công nghệ Zhenhua Quảng Đông, nhà sản xuất thiết bị sơn chân không.
Thời gian đăng: Nov-07-2022