Lớp phủ nguồn bay hơi điện trở là một phương pháp phủ bay hơi chân không cơ bản."Bốc hơi" dùng để chỉ một phương pháp chuẩn bị màng mỏng, trong đó vật liệu phủ trong buồng chân không được làm nóng và bay hơi, để các nguyên tử hoặc phân tử vật liệu bốc hơi và thoát ra khỏi bề mặt, tạo thành hiện tượng dòng hơi, sự cố trên bề mặt của lớp phủ. chất nền hoặc chất nền, và cuối cùng ngưng tụ để tạo thành một màng rắn.
Cái gọi là phương pháp phủ nguồn bay hơi điện trở là sử dụng tantali, molypden, vonfram và các kim loại có điểm nóng chảy cao khác để tạo ra nguồn bay hơi có hình dạng thích hợp, được nạp bằng vật liệu sẽ bay hơi, để luồng không khí đi qua, làm nóng trực tiếp và làm bay hơi các vật liệu đã bay hơi, hoặc đặt các vật liệu cần làm bay hơi vào alumina, berili oxit và các chén nung khác để làm nóng và bay hơi gián tiếp.Đây là phương pháp bay hơi gia nhiệt điện trở.
Cácmáy phủ bay hơi chân khônglàm nóng và bay hơi bằng lò sưởi điện trở có ưu điểm là cấu trúc đơn giản, chi phí thấp và sử dụng đáng tin cậy.Nó có thể được sử dụng cho lớp phủ bay hơi của vật liệu có nhiệt độ nóng chảy thấp, đặc biệt là cho sản xuất hàng loạt với yêu cầu thấp về chất lượng lớp phủ.Cho đến nay, vẫn còn một số lượng lớn các quy trình phủ nhiệt điện trở và bay hơi được đưa vào sử dụng trong sản xuất gương tráng nhôm.
Nhược điểm của phương pháp phủ bốc hơi nguồn bay hơi điện trở là nhiệt độ tối đa có thể đạt được bằng cách gia nhiệt bị hạn chế và tuổi thọ của thiết bị gia nhiệt cũng ngắn.Trong những năm gần đây, để cải thiện tuổi thọ của nguồn bay hơi điện trở, nhà máy sản xuất thiết bị đã sử dụng vật liệu gốm dẫn điện được tổng hợp bởi boron nitride có tuổi thọ cao làm nguồn bay hơi.Theo một báo cáo bằng sáng chế của Nhật Bản, nó có thể sử dụng các vật liệu bao gồm 20% ~ 30% boron nitride và các vật liệu chịu lửa có thể được hợp nhất với nó để tạo ra nguồn bay hơi (nồi nấu kim loại) và phủ lên bề mặt của nó một lớp zirconi chứa 62%. ~82%, còn lại là vật liệu hợp kim zirconi-silicon.
Thời gian đăng: 22-04-2023