Thiết bị phủ cuộn dây magnetron là sử dụng phương pháp phún xạ magnetron để thay đổi vật liệu phủ thành trạng thái khí hoặc ion trong môi trường chân không, sau đó lắng đọng nó trên chi tiết gia công để tạo thành một lớp màng dày đặc.Để cải thiện trạng thái bề mặt hoặc đạt được hiệu suất đặc biệt nhất định của màng chức năng hoặc trang trí.
Thiết bị sử dụng hệ thống phún xạ magnetron và hệ thống điều khiển cuộn dây chính xác, đồng thời được trang bị hệ thống điều khiển truyền động động cơ servo để nhận ra lực căng không đổi và điều khiển tốc độ không đổi.
1. Được trang bị hệ thống làm phẳng màng tự động, màng không bị nhăn và chất lượng cuộn cao.
2. Hệ thống điều khiển vòng kín được thêm vào để cải thiện tốc độ lắng đọng.Màng điện môi nhiều lớp có thể được phủ liên tục trên cuộn PET có chiều rộng 1100mm, với độ lặp lại tốt và quy trình ổn định.
3. Hệ thống cuộn dây và mục tiêu có thể được kéo ra từ cả hai đầu tương ứng để tạo điều kiện thuận lợi cho việc tải và dỡ cuộn màng và thay thế mục tiêu bảo trì.
Thiết bị có mức độ tự động hóa cao, tự động giám sát trạng thái làm việc của thiết bị và có chức năng báo lỗi và bảo vệ tự động.Việc vận hành thiết bị có độ khó thấp.
Thiết bị có thể lắng đọng Nb2O5, TiO2, SiO2 và các oxit khác, Cu, Al, Cr, Ti và các kim loại đơn giản khác, chủ yếu được sử dụng để lắng đọng màng màu quang học nhiều lớp và màng kim loại đơn giản.Thiết bị này phù hợp với màng PET, vải dẫn điện và các vật liệu màng dẻo khác, đồng thời được sử dụng rộng rãi trong màng trang trí điện thoại di động, màng đóng gói, màng chắn điện từ EMI, màng trong suốt ITO và các sản phẩm khác.
mô hình tùy chọn | Kích thước thiết bị ( chiều rộng ) |
RCX1100 | 1100(mm) |