Thiết bị phủ composite của phương pháp phún xạ magnetron và lớp phủ ion đa hồ quang catốt có thể hoạt động riêng biệt và đồng thời;có thể được lắng đọng và chuẩn bị màng kim loại nguyên chất, màng hợp chất kim loại hoặc màng tổng hợp;có thể là màng đơn lớp và màng phức hợp nhiều lớp.
Ưu điểm của nó như sau:
Nó không chỉ kết hợp các ưu điểm của các lớp phủ ion khác nhau và tính đến việc chuẩn bị và lắng đọng màng mỏng cho các lĩnh vực ứng dụng khác nhau, mà còn cho phép lắng đọng và chuẩn bị màng nguyên khối nhiều lớp hoặc màng phức hợp nhiều lớp trong cùng một môi trường chân không. buồng phủ cùng một lúc.
Các ứng dụng của lớp phim lắng đọng được sử dụng rộng rãi. Công nghệ của hãng có nhiều dạng khác nhau, điển hình như sau:
(1) Hợp chất của công nghệ phún xạ magnetron không cân bằng và mạ ion catốt.
Thiết bị của nó được hiển thị như sau.Nó là một thiết bị phủ phức hợp của mục tiêu magnetron cột và lớp phủ ion hồ quang catốt phẳng, phù hợp cho cả màng hợp chất phủ công cụ và lớp phủ màng trang trí.Đối với lớp phủ dụng cụ, lớp phủ ion hồ quang catốt được sử dụng trước tiên cho lớp phủ lớp cơ sở, sau đó mục tiêu từ trường cột được sử dụng để lắng đọng nitride và các lớp màng khác để thu được màng bề mặt dụng cụ xử lý có độ chính xác cao.
Đối với lớp phủ trang trí, màng trang trí TiN và ZrN có thể được lắng đọng bằng lớp phủ hồ quang catốt trước, sau đó được pha tạp kim loại bằng các mục tiêu từ trường, và hiệu ứng pha tạp rất tốt.
(2) Hợp chất của các kỹ thuật phủ ion hồ quang cực âm kép và cực âm cột.Thiết bị được hiển thị như sau.Nó được sử dụng công nghệ mục tiêu song sinh tiên tiến, khi hai mục tiêu song sinh cạnh nhau được liên kết với nguồn điện tần số trung bình, nó không chỉ khắc phục tình trạng ngộ độc mục tiêu của phún xạ DC, hỏa hoạn và các nhược điểm khác;và có thể lắng đọng màng chất lượng oxit Al203, SiO2, do đó khả năng chống oxy hóa của các bộ phận được phủ đã tăng lên và được cải thiện.Mục tiêu đa cung dạng cột được lắp đặt ở trung tâm buồng chân không, vật liệu mục tiêu có thể được sử dụng Ti và Zr, không chỉ duy trì ưu điểm của tốc độ phân ly đa cung cao, tốc độ lắng đọng mà còn có thể giảm hiệu quả " giọt " trong quá trình lắng đọng mục tiêu đa cung phẳng nhỏ, có thể lắng đọng và chuẩn bị màng kim loại, màng hợp chất có độ xốp thấp.Nếu Al và Si được sử dụng làm vật liệu đích cho các mục tiêu magnetron phẳng đôi được lắp đặt ở ngoại vi, thì có thể lắng đọng và chuẩn bị màng gốm kim loại Al203 hoặc Si0.Ngoài ra, có thể lắp đặt nhiều mặt phẳng nhỏ của nguồn bốc hơi đa cung ở ngoại vi và vật liệu mục tiêu của nó có thể là Cr hoặc Ni, đồng thời có thể lắng đọng và chuẩn bị màng kim loại và màng composite nhiều lớp.Do đó, công nghệ phủ composite này là công nghệ phủ composite đa ứng dụng.
Thời gian đăng: Nov-08-2022