Thiết bị làm sạch plasma chân không sử dụng cấu trúc tích hợp, được trang bị hệ thống làm sạch ion RF, điều khiển hoàn toàn tự động, vận hành và bảo trì thuận tiện.
Máy phát tần số cao RF có thể tạo ra plasma mật độ cao, kích hoạt, ăn mòn và tạo tro bề mặt phôi, loại bỏ hiệu quả bụi và dầu mỡ trên bề mặt sản phẩm, giải phóng ứng suất bề mặt và thu được nhiều sửa đổi khác nhau trên bề mặt phôi.
Nó được áp dụng cho cao su, thủy tinh, gốm sứ, kim loại và các sản phẩm khác, và được áp dụng cho vi điện tử, LCD, LED, LCM, bảng mạch PCB, bao bì bán dẫn, thiết bị y tế, thí nghiệm khoa học đời sống và các lĩnh vực khác.