די ויסריכט אַדאַפּץ ווערטיקאַל פראָנט טיר סטרוקטור און קנויל אויסלייג.עס קענען זיין יקוויפּט מיט יוואַפּעריישאַן קוואלן פֿאַר מעטאַלס און פאַרשידן אָרגאַניק מאַטעריאַלס, און קענען יוואַפּערייט סיליציום ווייפערז פון פאַרשידן ספּעסאַפאַקיישאַנז.יקוויפּט מיט פּינטלעכקייַט אַליינמאַנט סיסטעם, די קאָוטינג איז סטאַביל און די קאָוטינג האט גוט ריפּיטאַביליטי.
GX600 קאָוטינג ויסריכט קענען אַקיעראַטלי, יוואַנלי און קאַנטראָולאַבלי יוואַפּערייט אָרגאַניק ליכט-ימיטינג מאַטעריאַלס אָדער מעטאַל מאַטעריאַלס אויף די סאַבסטרייט.עס האט די אַדוואַנטידזשיז פון פּשוט פילם פאָרמירונג, הויך ריינקייַט און הויך קאַמפּאַקטנאַס.די פול-אָטאַמאַטיק פילם גרעב פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג סיסטעם קענען ענשור די ריפּיטאַביליטי און פעסטקייַט פון דעם פּראָצעס.עס איז יקוויפּט מיט זיך-מעלטינג פונקציע צו רעדוצירן די אָפענגיקייַט אויף דער אָפּעראַטאָר ס סקילז.
די עקוויפּמענט קענען זיין געווענדט צו Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti און אנדערע מעטאַל מאַטעריאַלס, און קענען זיין קאָוטאַד מיט מעטאַל פילם, דיעלעקטריק שיכטע פילם, IMD פילם, אאז"ו ו. עס איז דער הויפּט געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער. אינדוסטריע, אַזאַ ווי מאַכט דעוויסעס, סעמיקאַנדאַקטער דערציען פּאַקקאַגינג סאַבסטרייט קאָוטינג, עטק.
GX600 | GX900 |
φ600*800 (מם) | φ900*ה1050(מם) |