וואַקוום קאָוטינג דער הויפּט כולל וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן, ספּאַטערינג קאָוטינג און יאָן קאָוטינג, אַלע וואָס זענען געניצט צו אַוועקלייגן פאַרשידן מעטאַל און ניט-מעטאַל פילמס אויף די ייבערפלאַך פון פּלאַסטיק טיילן דורך דיסטאַליישאַן אָדער ספּאַטערינג אונטער וואַקוום טנאָים, וואָס קענען באַקומען אַ זייער דין ייבערפלאַך קאָוטינג. מיט די בוילעט מייַלע פון שנעל אַדכיזשאַן, אָבער די פּרייַז איז אויך העכער, און די טייפּס פון מעטאַלס וואָס קענען זיין אַפּערייטאַד זענען ווייניקער, און זענען בכלל געניצט פֿאַר פאַנגקשאַנאַל קאָוטינג פון העכער-מיינונג פּראָדוקטן.
וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן איז אַ מעטאָד פון באַהיצונג די מעטאַל אונטער הויך וואַקוום, מאכן עס צעלאָזן, יוואַפּערייט און פאָרעם אַ דין מעטאַל פילם אויף די ייבערפלאַך פון די מוסטער נאָך קאָאָלינג, מיט אַ גרעב פון 0.8-1.2 אַם.עס פילז אין די קליין קאָנקאַווע און קאַנוועקס טיילן אויף די ייבערפלאַך פון די געשאפן פּראָדוקט צו באַקומען אַ שפּיגל-ווי ייבערפלאַך. מוזן זיין קאָוטאַד.
ספּוטערינג יוזשאַוואַלי רעפערס צו מאַגנטראָן ספּוטערינג, וואָס איז אַ הויך-גיכקייַט נידעריק-טעמפּעראַטור ספּוטערינג אופֿן.דער פּראָצעס ריקווייערז אַ וואַקוום פון וועגן 1 × 10-3 טאָר, וואָס איז 1.3 × 10-3 פּאַ וואַקוום שטאַט אָנגעפילט מיט ינערט גאַז אַרגאָן (אַר), און צווישן די פּלאַסטיק סאַבסטרייט (אַנאָוד) און די מעטאַל ציל (קאַטאָוד) פּלוס הויך וואָולטידזש דירעקט קראַנט, רעכט צו דער עלעקטראָן עקסייטיישאַן פון ינערט גאַז דזשענערייטאַד דורך שייַנען אָפּזאָגן, פּראַדוסינג פּלאַזמע, די פּלאַזמע וועט בלאַסט אויס די אַטאָמס פון די מעטאַל ציל און דיפּאַזאַץ זיי אויף די פּלאַסטיק סאַבסטרייט.רובֿ פון די אַלגעמיינע מעטאַל קאָוטינגז נוצן דק ספּוטערינג, בשעת די ניט-קאַנדאַקטיוו סעראַמיק מאַטעריאַלס נוצן רף אַק ספּוטערינג.
יאָן קאָוטינג איז אַ אופֿן אין וואָס אַ גאַז אָפּזאָגן איז געניצט צו טייל ייאַנייז די גאַז אָדער די יוואַפּערייטיד מאַטעריע אונטער וואַקוום טנאָים, און די יוואַפּערייטיד מאַטעריע אָדער זייַן רעאַקטאַנץ זענען דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט דורך באַמבאַרדמענט פון גאַז ייאַנז אָדער ייאַנז פון די יוואַפּערייטיד מאַטעריע.די אַרייַננעמען מאַגנטראָן ספּוטערינג יאָן קאָוטינג, ריאַקטיוו יאָן קאָוטינג, פּוסט קאַטאָוד אָפּזאָגן יאָן קאָוטינג (פּוסט קאַטאָוד פארע דעפּאַזישאַן אופֿן) און מולטי-אַרק יאָן קאָוטינג (קאַטאָוד קרייַזבויגן יאָן קאָוטינג).
ווערטיקאַל טאָפּל-סיידאַד מאַגנטראָן ספּאַטערינג קעסיידערדיק קאָוטינג אין שורה
ברייט אָנווענדלעך, קענען ווערן גענוצט פֿאַר עלעקטראָניש פּראָדוקטן אַזאַ ווי העפט שאָל EMI שילדינג שיכטע, פלאַך פּראָדוקטן און אפילו אַלע לאָמפּ גלעזל פּראָדוקטן אין אַ זיכער הייך ספּעסיפיקאַטיאָן קענען זיין געשאפן.גרויס לאָודינג קאַפּאַציטעט, סאָליד קלאַמפּינג און סטאַגערד קלאַמפּינג פון קאַניקאַל ליכט טעפּלעך פֿאַר טאָפּל-סיידאַד קאָוטינג, וואָס קענען האָבן אַ גרעסערע לאָודינג קאַפּאַציטעט.סטאַביל קוואַליטעט, גוט קאָנסיסטענסי פון פילם שיכטע פון פּעקל צו פּעקל.הויך גראַד פון אָטאַמיישאַן און נידעריק פליסנדיק אַרבעט פּרייַז.
פּאָסטן צייט: נאוועמבער 07-2022