פּלאַזמע דירעקט פּאַלימעראַזיישאַן פּראָצעס

פּלאַזמע דירעקט פּאַלימעראַזיישאַן פּראָצעס

דער פּראָצעס פון פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן איז לעפיערעך פּשוט פֿאַר ביידע ינערלעך ילעקטראָוד פּאַלימעראַזיישאַן ויסריכט און פונדרויסנדיק ילעקטראָוד פּאַלימעראַזיישאַן ויסריכט, אָבער פּאַראַמעטער סעלעקציע איז מער וויכטיק אין פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן, ווייַל פּאַראַמעטערס האָבן אַ גרעסערע פּראַל אויף די סטרוקטור און פאָרשטעלונג פון פּאָלימער פילמס בעשאַס פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן.

די אָפּעראַציע סטעפּס פֿאַר דירעקט פּלאַזמע פּאַלימעראַזיישאַן זענען ווי גייט:

(1) וואַקוומינג

דער הינטערגרונט וואַקוום פון פּאַלימעראַזיישאַן אונטער וואַקוום טנאָים זאָל זיין פּאַמפּט צו 1.3 × 10-1 פּאַ.פֿאַר פּאַלימעראַזיישאַן ריאַקשאַנז וואָס דאַרפן ספּעציעל רעקווירעמענץ פֿאַר קאַנטראָולינג זויערשטאָף אָדער ניטראָגען אינהאַלט, דער הינטערגרונט וואַקוום פאָדערונג איז אפילו העכער.

(2) באַשולדיקונג אָפּרוף מאָנאָמער אָדער געמישט גאַז פון טרעגער גאַז און מאָנאָמער

די וואַקוום גראַד איז 13-130 פּאַ.פֿאַר פּלאַזמע פּאַלימעראַזיישאַן ריקוויירינג אַרבעט, צונעמען לויפן קאָנטראָל מאָדע און לויפן קורס זאָל זיין אויסגעקליבן, בכלל 10.100 מל / מין.אין פּלאַזמע, מאָנאָמער מאַלאַקיולז זענען ייאַנייזד און דיססאָסיאַטעד דורך באָמבאַרדמענט פון ענערגעטיק פּאַרטיקאַלז, ריזאַלטינג אין אַקטיוו פּאַרטיקאַלז אַזאַ ווי ייאַנז און אַקטיוו גענעס.די אַקטיוו פּאַרטיקאַלז אַקטיווייטיד דורך פּלאַזמע קענען אַנדערגאָו פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן אין די צובינד פון גאַז פאַסע און האַרט פאַסע.דער מאָנאָמער איז דער מקור פון פּריקערסער פֿאַר פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן, און די אַרייַנשרייַב אָפּרוף גאַז און מאָנאָמער זאָל האָבן זיכער ריינקייַט.

(3) סעלעקציע פון ​​עקסייטיישאַן מאַכט צושטעלן

פּלאַזמע קענען זיין דזשענערייטאַד מיט דק, הויך-אָפטקייַט, רף אָדער מייקראַווייוו מאַכט קוואלן צו צושטעלן אַ פּלאַזמע סוויווע פֿאַר פּאַלימעראַזיישאַן.די סעלעקציע פון ​​מאַכט צושטעלן איז באשלאסן באזירט אויף די באדערפענישן פֿאַר די סטרוקטור און פאָרשטעלונג פון די פּאָלימער.

(4) סעלעקציע פון ​​אָפּזאָגן מאָדע

פֿאַר פּאָלימער באדערפענישן, פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן קענען קלייַבן צוויי אָפּזאָגן מאָדעס: קעסיידערדיק אָפּזאָגן אָדער דויפעק אָפּזאָגן.

(5) סעלעקציע פון ​​אָפּזאָגן פּאַראַמעטערס

ווען קאַנדאַקטינג פּלאַזמע פּאַלימעראַזיישאַן, די אָפּזאָגן פּאַראַמעטערס מוזן זיין באַטראַכט פֿון פּלאַזמע פּאַראַמעטערס, פּאָלימער פּראָפּערטיעס און סטרוקטור רעקווירעמענץ.די מאַגנאַטוד פון די געווענדט מאַכט בעשאַס פּאַלימעראַזיישאַן איז באשלאסן דורך די באַנד פון די וואַקוום קאַמער, ילעקטראָוד גרייס, מאָנאָמער לויפן קורס און סטרוקטור, פּאַלימעראַזיישאַן קורס, און פּאָלימער סטרוקטור און פאָרשטעלונג.פֿאַר בייַשפּיל, אויב דער אָפּרוף קאַמער באַנד איז 1 ל און רף פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן איז אנגענומען, די אָפּזאָגן מאַכט וועט זיין אין די קייט פון 10 ~ 30 וו.אונטער אַזאַ טנאָים, די פּלאַזמע דזשענערייטאַד קענען צונויפגיסן צו פאָרעם אַ דין פילם אויף די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע.דער וווּקס קורס פון פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן פילם וועריז מיט מאַכט צושטעלן, מאַנאַמער טיפּ און לויפן קורס און פּראָצעס טנאָים.אין אַלגעמיין, די גראָוט קורס איז 100nm/min ~ 1um/min.

(6) פּאַראַמעטער מעזשערמאַנט אין פּלאַזמאַ פּאַלימעראַזיישאַן

די פּלאַזמע פּאַראַמעטערס און פּראָצעס פּאַראַמעטערס צו זיין געמאסטן אין פּלאַזמע פּאַלימעראַזיישאַן אַרייַננעמען: אָפּזאָגן וואָולטידזש, אָפּזאָגן קראַנט, אָפּזאָגן אָפטקייַט, עלעקטראָן טעמפּעראַטור, געדיכטקייַט, אָפּרוף גרופּע טיפּ און קאַנסאַנטריישאַן, עטק.

——דער אַרטיקל איז באפרייט דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע, אַפאַבריקאַנט פון אָפּטיש קאָוטינג מאשינען.