פּראָצעס לויפן פון ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין

1. באָמבאַרדמענט רייניקונג סאַבסטרייט

1.1) ספּוטערינג קאָוטינג מאַשין נוצן שייַנען אָפּזאָגן צו ריין די סאַבסטרייט.דאָס איז צו זאָגן, די אַרגאָן גאַז איז באַשולדיקט אין די קאַמער, די אָפּזאָגן וואָולטידזש איז אַרום 1000 וו, נאָך קער אויף די מאַכט צושטעלן, אַ שייַנען אָפּזאָגן איז דזשענערייטאַד, און די סאַבסטרייט איז קלינד דורך אַרגאָן יאָן באָמבאַרדמענט.

1.2) אין ספּאַטערינג קאָוטינג מאשינען וואָס ינדאַסטריאַלי פּראָדוצירן הויך-סוף אָרנאַמאַנץ, טיטאַניום ייאַנז ימיטיד דורך קליין קרייַזבויגן קוואלן זענען מערסטנס געניצט פֿאַר רייניקונג.די ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין איז יקוויפּט מיט אַ קליין קרייַזבויגן מקור, און די טיטאַניום יאָן טייַך אין די קרייַזבויגן פּלאַזמע דזשענערייטאַד דורך די אָפּזאָגן פון די קליין קרייַזבויגן מקור איז געניצט צו באַמבאַרד און ריין די סאַבסטרייט.

2. טיטאַניום ניטריד קאָוטינג

ווען דאַפּאַזיטינג טיטאַניום ניטריד דין פילמס, דער ציל מאַטעריאַל פֿאַר ספּוטטערינג איז טיטאַניום ציל.דער ציל מאַטעריאַל איז קאָננעקטעד צו די נעגאַטיוו ילעקטראָוד פון די ספּאַטערינג מאַכט צושטעלן, און די ציל וואָולטידזש איז 400 ~ 500 וו;די אַרגאַן פלאַקס איז פאַרפעסטיקט, און די קאָנטראָל וואַקוום איז (3 ~ 8) X10^-1PA.די סאַבסטרייט איז פארבונדן צו די נעגאַטיוו ילעקטראָוד פון די פאָרורטייל מאַכט צושטעלן, מיט אַ וואָולטידזש פון 100 ~ 200 וו.

נאָך ווענדן אויף די מאַכט צושטעלן פון די ספּאַטערינג טיטאַניום ציל, אַ שייַנען אָפּזאָגן איז דזשענערייטאַד, און הויך-ענערגיע אַרגאָן ייאַנז באָמבאַרדירן די ספּאַטערינג ציל, ספּאַטערינג טיטאַניום אַטאָמס פון די ציל.

דער אָפּרוף גאַז ניטראָגען איז באַקענענ, און די טיטאַניום אַטאָמס און ניטראָגען זענען ייאַנייזד אין טיטאַניום ייאַנז און ניטראָגען ייאַנז אין די קאָוטינג קאַמער.אונטער די אַטראַקשאַן פון די נעגאַטיוו פאָרורטייל עלעקטריק פעלד געווענדט צו די סאַבסטרייט, טיטאַניום ייאַנז און ניטראָגען ייאַנז פאַרגיכערן צו די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט פֿאַר כעמיש אָפּרוף און דעפּאַזישאַן צו פאָרעם אַ טיטאַניום ניטריד פילם שיכטע.

3. נעמען אויס די סאַבסטרייט

נאָך דערגרייכן די פּרידיטערמינד פילם גרעב, קער אַוועק די ספּוטערינג מאַכט צושטעלן, סאַבסטרייט פאָרורטייל מאַכט צושטעלן און לופט מקור.נאָך די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז נידעריקער ווי 120 ℃, פּלאָמבירן די קאָוטינג קאַמער מיט לופט און נעמען אויס די סאַבסטרייט.

דער אַרטיקל איז ארויס דורךמאַגנטראָן ספּוטערינג קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט– גואַנגדאָנג זשענהואַ.