1. דיוואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינגפּראָצעס כולל די יוואַפּעריישאַן פון פילם מאַטעריאַלס, די אַריבערפירן פון פארע אַטאָמס אין הויך וואַקוום, און דער פּראָצעס פון נוקלעאַטיאָן און גראָוט פון פארע אַטאָמס אויף די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע.
2. די דעפּאַזישאַן וואַקוום גראַד פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג איז הויך, בכלל 10-510-3דער פריי וועג פון גאַז מאַלאַקיולז איז 1 ~ 10 ם סדר פון מאַגנאַטוד, וואָס איז פיל גרעסער ווי די ווייַטקייט פון די יוואַפּעריישאַן מקור צו די וואָרקפּיעסע, דעם דיסטאַנסע איז גערופן די יוואַפּעריישאַן דיסטאַנסע, בכלל 300 ~ 800 מם.די קאָוטינג פּאַרטיקאַלז קוים קאַלייד מיט גאַז מאַלאַקיולז און פארע אַטאָמס און דערגרייכן די וואָרקפּיעסע.
3. די וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג שיכטע איז נישט ווונד פּלייטינג, און די פארע אַטאָמס גיין גלייַך צו די וואָרקפּיעסע אונטער הויך וואַקוום.בלויז די זייַט פייסינג די יוואַפּעריישאַן מקור אויף די וואָרקפּיעסע קענען באַקומען די פילם שיכטע, און די זייַט און צוריק פון די וואָרקפּיעסע קענען קוים באַקומען די פילם שיכטע, און די פילם שיכטע האט אַ שלעכט פּלייטינג.
4. די ענערגיע פון די פּאַרטיקאַלז פון די וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג שיכטע איז נידעריק, און די ענערגיע ריטשינג די וואָרקפּיעסע איז די היץ ענערגיע געפירט דורך די יוואַפּעריישאַן.זינט די וואָרקפּיעסע איז נישט בייאַסט בעשאַס וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג, די מעטאַל אַטאָמס בלויז פאַרלאָזנ אויף די היץ פון יוואַפּעריישאַן בעשאַס יוואַפּעריישאַן, די יוואַפּעריישאַן טעמפּעראַטור איז 1000 ~ 2000 °C, און די געפירט ענערגיע איז עקוויוואַלענט צו 0.1 ~ 0.2eV, אַזוי די ענערגיע פון די פילם פּאַרטיקאַלז איז נידעריק, די באַנדינג קראַפט צווישן די פילם שיכטע און די מאַטריץ איז קליין, און עס איז שווער צו פאָרעם אַ קאַמפּאַונד קאָוטינג.
5. די וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג שיכטע האט אַ פייַן סטרוקטור.די וואַקוום יוואַפּעריישאַן פּלייטינג פּראָצעס איז געשאפן אונטער הויך וואַקוום, און די פילם פּאַרטיקאַלז אין די פארע זענען בייסיקלי אַטאָמישע וואָג, פאָרמינג אַ פייַן האַרץ אויף די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע.
פּאָסטן צייט: יוני 14-2023