טעכניש פֿעיִקייטן פון וואַקוום מאַגנטראָן ספּוטערינג קאָוטינג ויסריכט

וואַקוום מאַגנטראָן ספּוטערינג איז דער הויפּט פּאַסיק פֿאַר ריאַקטיוו דעפּאַזישאַן קאָוטינגז.אין פאַקט, דעם פּראָצעס קענען אַוועקלייגן דין פילמס פון קיין אַקסייד, קאַרבידע און ניטריד מאַטעריאַלס.אין דערצו, דער פּראָצעס איז אויך דער הויפּט פּאַסיק פֿאַר די דעפּאַזישאַן פון מולטי-לייַער פילם סטראַקטשערז, אַרייַנגערעכנט אָפּטיש דיזיינז, קאָליר פילמס, טראָגן-קעגנשטעליק קאָוטינגז, נאַנאָ-לאַמאַנייץ, סופּערלאַטאַס קאָוטינגז, ינסאַלייטינג פילמס, אאז"ו ו. ווי פרי ווי 1970, הויך קוואַליטעט אָפּטיש פילם. דעפּאַזישאַן ביישפילן האָבן שוין דעוועלאָפּעד פֿאַר אַ פאַרשיידנקייַט פון אָפּטיש פילם שיכטע מאַטעריאַלס.די מאַטעריאַלס אַרייַננעמען טראַנספּעראַנט קאַנדאַקטיוו מאַטעריאַלס, סעמיקאַנדאַקטערז, פּאָלימערס, אַקסיידז, קאַרבידעס און ניטרידעס, בשעת פלאָריידז זענען געניצט אין פּראַסעסאַז אַזאַ ווי יוואַפּעריישאַן קאָוטינג.

דער הויפּט מייַלע פון ​​די מאַגנטראָן ספּוטערינג פּראָצעס איז ניצן ריאַקטיוו אָדער ניט-ריאַקטיוו קאָוטינג פּראַסעסאַז צו אַוועקלייגן לייַערס פון די מאַטעריאַלס און געזונט קאָנטראָל פון די שיכטע זאַץ, פילם גרעב, פילם גרעב יונאַפאָרמאַטי און מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס פון די שיכטע.דער פּראָצעס האט די קעראַקטעריסטיקס ווי גייט.

1, גרויס דעפּאַזישאַן קורס.רעכט צו דער נוצן פון הויך-גיכקייַט מאַגנטראָן ילעקטראָודז, אַ גרויס יאָן לויפן קענען זיין באקומען, יפעקטיוולי ימפּרוווינג די דעפּאַזישאַן קורס און ספּיטערינג קורס פון דעם קאָוטינג פּראָצעס.קאַמפּערד מיט אנדערע ספּוטערינג קאָוטינג פּראַסעסאַז, מאַגנטראָן ספּוטערינג האט אַ הויך קאַפּאַציטעט און הויך טראָגן, און איז וויידלי געניצט אין פאַרשידן ינדאַסטרי פּראָדוקציע.

2 、 הויך מאַכט עפעקטיווקייַט.מאַגנטראָן ספּיטערינג ציל בכלל קלייַבן די וואָולטידזש ין די קייט פון 200 וו-1000 וו, יוזשאַוואַלי איז 600 וו, ווייַל די וואָולטידזש פון 600 וו איז נאָר ין די העכסטן עפעקטיוו קייט פון מאַכט עפעקטיווקייַט.

3. נידעריק ספּאַטערינג ענערגיע.די מאַגנטראָן ציל וואָולטידזש איז געווענדט נידעריק, און די מאַגנעטיק פעלד קאַנפיינז די פּלאַזמע לעבן די קאַטאָוד, וואָס פּריווענץ העכער ענערגיע באפוילן פּאַרטיקאַלז פון לאָנטשינג אַנטו די סאַבסטרייט.

4 、 נידעריק סאַבסטרייט טעמפּעראַטור.די אַנאָוד קענען ווערן גענוצט צו פירן אַוועק די עלעקטראָנס דזשענערייטאַד בעשאַס די אָפּזאָגן, ניט דאַרפֿן די סאַבסטרייט שטיצן צו פאַרענדיקן, וואָס קענען יפעקטיוולי רעדוצירן די עלעקטראָן באָמבאַרדמענט פון די סאַבסטרייט.אזוי די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז נידעריק, וואָס איז זייער ידעאַל פֿאַר עטלעכע פּלאַסטיק סאַבסטרייץ וואָס זענען נישט זייער קעגנשטעליק צו הויך טעמפּעראַטור קאָוטינג.

5, מאַגנעטראָן ספּוטערינג ציל ייבערפלאַך עטשינג איז נישט מונדיר.מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל ייבערפלאַך עטשינג אַניוואַן איז געפֿירט דורך די אַניוואַן מאַגנעטיק פעלד פון די ציל.דער אָרט פון די ציל עטשינג קורס איז גרעסערע, אַזוי אַז די עפעקטיוו יוטאַלאַזיישאַן קורס פון די ציל איז נידעריק (בלויז 20-30% יוטאַלאַזיישאַן קורס).דעריבער, צו פֿאַרבעסערן די ציל יוטאַלאַזיישאַן, די מאַגנעטיק פעלד פאַרשפּרייטונג דאַרף זיין פארענדערט דורך זיכער מיטלען, אָדער די נוצן פון מאַגנאַץ מאָווינג אין די קאַטאָוד קענען אויך פֿאַרבעסערן די ציל יוטאַלאַזיישאַן.

6, קאָמפּאָסיטע ציל.קענען מאַכן קאָמפּאָסיטע ציל קאָוטינג צומיש פילם.דערווייַל, די נוצן פון קאַמפּאַזאַט מאַגנטראָן ציל ספּוטערינג פּראָצעס איז הצלחה קאָוטאַד אויף טאַ-טי צומיש, (טב-די) -פע און גב-קאָ צומיש פילם.קאָמפּאָסיטע ציל סטרוקטור האט פיר מינים, ריספּעקטיוולי, זענען די קייַלעכיק ינלייד ציל, קוואַדראַט ינלייד ציל, קליין קוואַדראַט ינלייד ציל און סעקטאָר ינלייד ציל.די נוצן פון די סעקטאָר ינלייד ציל סטרוקטור איז בעסער.

7. ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז.מאַגנטראָן ספּוטערינג פּראָצעס קענען אַוועקלייגן פילע עלעמענטן, די פּראָסט אָנעס זענען: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, עטק.

מאַגנטראָן ספּוטערינג איז איינער פון די מערסט וויידלי געניצט קאָוטינג פּראַסעסאַז צו קריגן הויך קוואַליטעט פילמס.מיט אַ נייַ קאַטאָוד, עס האט אַ הויך ציל יוטאַלאַזיישאַן און הויך דעפּאַזישאַן קורס.גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע וואַקוום מאַגנטראָן ספּוטערינג קאָוטינג פּראָצעס איז איצט וויידלי געניצט אין די קאָוטינג פון גרויס-שטח סאַבסטרייץ.דער פּראָצעס איז ניט בלויז געניצט פֿאַר איין-שיכטע פילם דעפּאַזישאַן, אָבער אויך פֿאַר מאַלטי-שיכטע פילם קאָוטינג, אין אַדישאַן, עס איז אויך געניצט אין די ראָלל צו זעמל פּראָצעס פֿאַר פּאַקקאַגינג פילם, אָפּטיש פילם, לאַמינאַטיאָן און אנדערע פילם קאָוטינג.