דער פּראָצעס פון קאַטהאָדיק קרייַזבויגן יאָן קאָוטינג איז בייסיקלי די זעלבע ווי אנדערע קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז, און עטלעכע אַפּעריישאַנז אַזאַ ווי ינסטאָלינג וואָרקפּיעסעס און וואַקיומינג זענען ניט מער ריפּיטיד.
1.באָמבאַרדמענט רייניקונג פון וואָרקפּיעסעס
איידער קאָוטינג, אַרגאָן גאַז איז באַקענענ אין די קאָוטינג קאַמער מיט אַ וואַקוום פון 2 × 10-2 פּאַ.
קער אויף די דויפעק פאָרורטייל מאַכט צושטעלן, מיט אַ פליכט ציקל פון 20% און אַ וואָרקפּיעסע פאָרורטייל פון 800-1000 וו.
ווען די קרייַזבויגן מאַכט איז פארקערט אויף, אַ קאַלט פעלד קרייַזבויגן ליכט אָפּזאָגן איז דזשענערייטאַד, וואָס עמיץ אַ גרויס סומע פון עלעקטראָן קראַנט און טיטאַניום יאָן קראַנט פון די קרייַזבויגן מקור, פאָרמינג אַ הויך-געדיכטקייַט פּלאַזמע.די טיטאַניום יאָן אַקסעלערייץ זייַן ינדזשעקשאַן אין די וואָרקפּיעסע אונטער די נעגאַטיוו הויך פאָרורטייל דרוק געווענדט צו די וואָרקפּיעסע, באָמבאַרדינג און ספּאַטערינג די ריזידזשואַל גאַז און פּאַלוטאַנץ אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע, און רייניקונג און פּיוראַפייינג די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע;אין דער זעלביקער צייט, די קלאָרין גאַז אין די קאָוטינג קאַמער איז ייאַנייזד דורך עלעקטראָנס, און אַרגאָן ייאַנז פאַרגיכערן די באַמבאַרדמאַנט פון די וואָרקפּיעסע ייבערפלאַך.
דעריבער, די באַמבאַרדמענט רייניקונג ווירקונג איז גוט.בלויז וועגן 1 מינוט פון באָמבאַרדמענט רייניקונג קענען ריין די וואָרקפּיעסע, וואָס איז גערופֿן "הויפּט קרייַזבויגן באָמבאַרדמענט".רעכט צו דער הויך מאַסע פון טיטאַניום ייאַנז, אויב אַ קליין קרייַזבויגן מקור איז געניצט צו באָמבאַרדירן און ריין די וואָרקפּיעסע צו לאַנג, די טעמפּעראַטור פון די וואָרקפּיעסע איז פּראָנע צו אָוווערכיטינג, און די געצייַג ברעג קען ווערן ווייך.אין אַלגעמיין פּראָדוקציע, קליין קרייַזבויגן קוואלן זענען אויסגעדרייט איינער דורך איינער פון שפּיץ צו דנאָ, און יעדער קליין קרייַזבויגן מקור האט אַ באָמבאַרדמענט רייניקונג צייַט פון וועגן 1 מינוט.
（1） קאָוטינג טיטאַניום דנאָ שיכטע
אין סדר צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן די פילם און סאַבסטרייט, אַ פּלאַסט פון ריין טיטאַניום סאַבסטרייט איז יוזשאַוואַלי קאָוטאַד איידער קאָוטינג טיטאַניום ניטריד.סטרויערן די וואַקוום מדרגה צו 5 × 10-2-3 × 10-1 פּאַ, סטרויערן די וואָרקפּיעסע פאָרורטייל וואָולטידזש צו 400-500 וו, און סטרויערן די פליכט ציקל פון די דויפעק פאָרורטייל מאַכט צושטעלן צו 40% ~ 50%.נאָך אָנצינדן קליין קרייַזבויגן קוואלן איינער דורך איינער צו דזשענערייט קאַלט פעלד אַרסינג אָפּזאָגן.רעכט צו דער פאַרקלענערן אין די נעגאַטיוו פאָרורטייל וואָולטידזש פון די וואָרקפּיעסע, די ענערגיע פון טיטאַניום ייאַנז דיקריסאַז.נאָך דערגרייכן די וואָרקפּיעסע, די ספּאַטערינג ווירקונג איז ווייניקער ווי די דעפּאַזישאַן ווירקונג, און אַ טיטאַניום יבערגאַנג שיכטע איז געשאפן אויף די וואָרקפּיעסע צו פֿאַרבעסערן די באַנדינג קראַפט צווישן די טיטאַניום ניטריד שווער פילם שיכטע און די סאַבסטרייט.דער פּראָצעס איז אויך דער פּראָצעס פון באַהיצונג די וואָרקפּיעסע.ווען די ריין טיטאַניום ציל איז דיסטשאַרדזשד, די ליכט אין די פּלאַזמע איז בלוי בלוי.
1.אַממאָנאַטעד שיסל שווער פילם קאָוטינג
סטרויערן די וואַקוום גראַד צו 3 × 10-1-5Pa, סטרויערן די וואָרקפּיעסע פאָרורטייל וואָולטידזש צו 100-200 וו, און סטרויערן די פליכט ציקל פון די דויפעק פאָרורטייל מאַכט צושטעלן צו 70% ~ 80%.נאָך ניטראָגען איז באַקענענ, טיטאַניום איז אַ קאָמבינאַציע אָפּרוף מיט די קרייַזבויגן אָפּזאָגן פּלאַזמע צו אַוועקלייגן טיטאַניום ניטריד שווער פילם.אין דעם פונט, די ליכט פון די פּלאַזמע אין די וואַקוום קאַמער איז קאַרש רויט.אויב C2H2, אָ2, אאז"ו ו זענען באַקענענ, TiCN, TiO2, אאז"ו ו. פילם לייַערס קענען זיין באקומען.
-דער אַרטיקל איז באפרייט דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט
פּאָסטן צייט: יוני-01-2023