1, פאָרמירונג פון מעטאַל קאַמפּאַונדז אויף די ציל ייבערפלאַך
ווו איז די קאַמפּאַונד געשאפן אין דעם פּראָצעס פון פאָרמינג אַ קאַמפּאַונד פון אַ מעטאַל ציל ייבערפלאַך דורך אַ ריאַקטיוו ספּאַטערינג פּראָצעס?זינט די כעמישער רעאַקציע צווישן די ריאַקטיוו גאַז פּאַרטיקאַלז און די ציל ייבערפלאַך אַטאָמס פּראָדוצירן קאַמפּאַונד אַטאָמס, וואָס איז יוזשאַוואַלי עקסאָטהערמיש, די אָפּרוף היץ מוזן האָבן אַ וועג צו פירן אויס, אַנדערש די כעמישער רעאַקציע קען נישט פאָרזעצן.אונטער וואַקוום טנאָים, היץ אַריבערפירן צווישן גאַסאַז איז ניט מעגלעך, אַזוי דער כעמישער רעאַקציע מוזן נעמען אָרט אויף אַ האַרט ייבערפלאַך.רעאַקציע ספּוטערינג דזשענערייץ קאַמפּאַונדז אויף ציל סערפאַסיז, סאַבסטרייט סערפאַסיז און אנדערע סטראַקטשעראַל סערפאַסיז.דזשענערייטינג קאַמפּאַונדז אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך איז דער ציל, דזשענערייטינג קאַמפּאַונדז אויף אנדערע סטראַקטשעראַל סערפאַסיז איז אַ וויסט פון רעסורסן, און דזשענערייטינג קאַמפּאַונדז אויף די ציל ייבערפלאַך סטאַרץ ווי אַ מקור פון קאַמפּאַונד אַטאָמס און ווערט אַ שלאַבאַן צו קאַנטיניואַסלי צושטעלן מער קאַמפּאַונד אַטאָמס.
2, די פּראַל סיבות פון ציל פאַרסאַמונג
דער הויפּט פאַקטאָר וואָס אַפעקץ די ציל פאַרסאַמונג איז די פאַרהעלטעניש פון אָפּרוף גאַז און ספּאַטערינג גאַז, צו פיל אָפּרוף גאַז וועט פירן צו ציל פאַרסאַמונג.ריאַקטיוו ספּאַטערינג פּראָצעס איז געפירט אויס אין די ציל ייבערפלאַך ספּאַטערינג קאַנאַל געגנט איז באדעקט דורך די אָפּרוף קאַמפּאַונד אָדער דער אָפּרוף קאַמפּאַונד איז סטריפּט און שייַעך-יקספּאָוזד מעטאַל ייבערפלאַך.אויב דער קורס פון קאַמפּאַונד דזשענעריישאַן איז גרעסער ווי די קורס פון קאַמפּאַונד סטריפּינג, די קאַמפּאַונד קאַווערידזש געגנט ינקריסיז.אין אַ זיכער מאַכט, די סומע פון רעאַקציע גאַז ינוואַלווד אין קאַמפּאַונד דור ינקריסיז און די קורס פון קאַמפּאַונד דור ינקריסיז.אויב די סומע פון אָפּרוף גאַז ינקריסיז יקסעסיוולי, די קאַמפּאַונד קאַווערידזש געגנט ינקריסיז.און אויב די אָפּרוף גאַז לויפן קורס קענען ניט זיין אַדזשאַסטיד אין צייט, די פאַרגרעסערן פון די קאַמפּאַונד קאַווערידזש געגנט איז נישט סאַפּרעסט, און די ספּאַטערינג קאַנאַל וועט זיין ווייַטער באדעקט דורך די קאַמפּאַונד, ווען די ספּאַטערינג ציל איז גאָר באדעקט דורך די קאַמפּאַונד, די ציל איז גאָר פּויזאַנד.
3, ציל פאַרסאַמונג דערשיינונג
(1) positive יאָן אַקיומיאַליישאַן: ווען די ציל פאַרסאַמונג, אַ פּלאַסט פון ינסאַלייטינג פילם וועט זיין געשאפן אויף די ציל ייבערפלאַך, positive ייאַנז דערגרייכן די קאַטאָוד ציל ייבערפלאַך רעכט צו דער בלאַקידזש פון די ינסאַלייטינג שיכטע.ניט גלייַך אַרייַן די קאַטאָוד ציל ייבערפלאַך, אָבער אָנקלייַבן אויף די ציל ייבערפלאַך, גרינג צו פּראָדוצירן קאַלט פעלד צו קרייַזבויגן אָפּזאָגן - אַרסינג, אַזוי אַז די קאַטאָוד ספּאַטערינג קענען נישט פאָרזעצן.
(2) אַנאָוד דיסאַפּיראַנס: ווען דער ציל פאַרסאַמונג, גראָונדעד וואַקוום קאַמער וואַנט אויך דאַפּאַזיטיד ינסאַלייטינג פילם, ריטשינג די אַנאָוד עלעקטראָנס קענען נישט אַרייַן די אַנאָוד, די פאָרמירונג פון אַנאָוד דיסאַפּיראַנס דערשיינונג.
4, גשמיות דערקלערונג פון ציל פאַרסאַמונג
(1) אין אַלגעמיין, די צווייטיק עלעקטראָן ימישאַן קאָואַפישאַנט פון מעטאַל קאַמפּאַונדז איז העכער ווי אַז פון מעטאַלס.נאָך ציל פאַרסאַמונג, די ייבערפלאַך פון די ציל איז אַלע מעטאַל קאַמפּאַונדז, און נאָך באַמבאַרדיד דורך ייאַנז, די נומער פון צווייטיק עלעקטראָנס רעלעאַסעד ינקריסיז, וואָס ימפּרוווז די קאַנדאַקטיוואַטי פון פּלאַץ און ראַדוסאַז די פּלאַזמע ימפּידאַנס, וואָס לידינג צו אַ נידעריקער ספּוטערינג וואָולטידזש.דעם ראַדוסאַז די ספּיטערינג קורס.אין אַלגעמיין, די ספּאַטערינג וואָולטידזש פון מאַגנטראָן ספּוטערינג איז צווישן 400 וו-600 וו, און ווען ציל פאַרסאַמונג אַקערז, די ספּאַטערינג וואָולטידזש איז באטייטיק רידוסט.
(2) מעטאַל ציל און קאַמפּאַונד ציל ערידזשנאַלי ספּאַטערינג קורס איז אַנדערש, אין אַלגעמיין, די ספּאַטערינג קאָואַפישאַנט פון מעטאַל איז העכער ווי די ספּאַטערינג קאָואַפישאַנט פון קאַמפּאַונד, אַזוי די ספּאַטערינג קורס איז נידעריק נאָך ציל פאַרסאַמונג.
(3) די ספּיטערינג עפעקטיווקייַט פון ריאַקטיוו ספּאַטערינג גאַז איז ערידזשנאַלי נידעריקער ווי די ספּאַטערינג עפעקטיווקייַט פון ינערט גאַז, אַזוי די פולשטענדיק ספּאַטערינג קורס דיקריסאַז נאָך די פּראָפּאָרציע פון ריאַקטיוו גאַז ינקריסיז.
5, סאַלושאַנז פֿאַר ציל פאַרסאַמונג
(1) אַדאַפּט מיטל אָפטקייַט מאַכט צושטעלן אָדער ראַדיאָ אָפטקייַט מאַכט צושטעלן.
(2) אַדאַפּט די פֿאַרמאַכט-שלייף קאָנטראָל פון די אָפּרוף גאַז ינפלאָו.
(3) אַדאַפּט צווילינג טאַרגאַץ
(4) קאָנטראָל די ענדערונג פון קאָוטינג מאָדע: איידער קאָוטינג, די כיסטערעסיס ווירקונג ויסבייג פון ציל פאַרסאַמונג איז געזאמלט אַזוי אַז די ינלעט לופט לויפן איז קאַנטראָולד אין די פראָנט פון פּראַדוסינג ציל פאַרסאַמונג צו ענשור אַז דער פּראָצעס איז שטענדיק אין די מאָדע איידער די דעפּאַזישאַן קורס טראפנס סטעפּלי.
-דער אַרטיקל איז ארויס דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע, אַ פאַבריקאַנט פון וואַקוום קאָוטינג ויסריכט.
פּאָסטן צייט: נאוועמבער 07-2022