דיוואַקוום קאָוטינגמאַשין פּראָצעס איז צעטיילט אין: וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג, וואַקוום ספּאַטערינג קאָוטינג און וואַקוום יאָן קאָוטינג.
1, וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג
אונטער די וואַקוום צושטאַנד, מאַכן די מאַטעריאַל יוואַפּערייטיד, אַזאַ ווי די מעטאַל, מעטאַל צומיש, אאז"ו ו, דעמאָלט אַוועקלייגן זיי אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך, די יוואַפּעריישאַן קאָוטינג אופֿן איז אָפט ניצן קעגנשטעל באַהיצונג, און דעמאָלט עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדמענט פון די קאָוטינג מאַטעריאַל, מאַכן זיי. יוואַפּערייטיד אין גאַז פאַסע, דעמאָלט אַוועקלייגן אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך, כיסטאָריקלי, וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן איז די פריער טעכנאָלאָגיע געניצט אין פּווד אופֿן.
2, ספּאַטערינג קאָוטינג
דער גאַז איז אונטערטעניק צו אַ שייַנען אָפּזאָגן אונטער (אַר)-אָנגעפילט וואַקוום טנאָים אין דעם מאָמענט די אַרגאָן (אַר) אַטאָמס יאָן אין ניטראָגען ייאַנז (אַר), די ייאַנז זענען אַקסעלערייטיד דורך די קראַפט פון די עלעקטריק פעלד, און באָמבאַרדירן די קאַטאָוד ציל וואָס איז געמאכט פון די קאָוטינג מאַטעריאַל, דער ציל וועט זיין ספּאַטערד אויס און דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך ינסידענט ייאַנז אין ספּאַטער קאָוטינג, בכלל באקומען דורך שייַנען אָפּזאָגן, זענען אין די קייט פון 10-2פּאַ צו 10Pa, אַזוי די ספּאַטערד פּאַרטיקאַלז זענען גרינג צו קאַלייד מיט די גאַז מאַלאַקיולז אין די וואַקוום קאַמער ווען פליענדיק צו די סאַבסטרייט, מאכן די באַוועגונג ריכטונג טראַפ און די דאַפּאַזיטיד פילם גרינג צו זיין מונדיר.
3, יאָן קאָוטינג
אונטער די וואַקוום טנאָים, אונטער וואַקוום צושטאַנד, געוויינט אַ זיכער פּלאַזמע ייאַנאַזיישאַן טעכניק צו טייל ייאַנייז די קאָוטינג מאַטעריאַל אַטאָמס אין ייאַנז. אין דער זעלביקער צייַט פילע הויך ענערגיע נייטראַל אַטאָמס זענען געשאפן, וואָס זענען נעגאַטיוולי בייאַסט אויף די סאַבסטרייט. אין דעם וועג, ייאַנז זענען דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך אונטער אַ טיף נעגאַטיוו פאָרורטייל צו פאָרעם אַ דין פילם.
פּאָסטן צייט: מערץ 23-2023