יאָן קאָוטינגמאַשין ערידזשאַנייטאַד פון די טעאָריע פארגעלייגט דורך DM Mattox אין די 1960 ס, און קאָראַספּאַנדינג יקספּעראַמאַנץ אנגעהויבן אין דער צייט;ביז 1971, טשאַמבערס און אנדערע ארויס די טעכנאָלאָגיע פון עלעקטראָן שטראַל יאָן פּלאַטינג;די ריאַקטיווע יוואַפּעריישאַן פּלאַטינג (ARE) טעכנאָלאָגיע איז אנגעוויזן אין די בונשאַה באַריכט אין 1972, ווען סופּער-שווער פילם טייפּס אַזאַ ווי TiC און TiN זענען געשאפן;אויך אין 1972, סמיט און מאָלליי אנגענומען די פּוסט קאַטאָוד טעכנאָלאָגיע אין די קאָוטינג פּראָצעס.אין די 1980 ס, די יאָן פּלייטינג אין טשיינאַ האט לעסאָף ריטשט די מדרגה פון ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַן, און די קאָוטינג פּראַסעסאַז אַזאַ ווי וואַקוום מאַלטי-אַרק יאָן פּלייטינג און קרייַזבויגן-אָפּזאָגן יאָן פּלייטינג האט ארויס סאַקסעסיוולי.
דער גאנצער אַרבעט פּראָצעס פון וואַקוום יאָן פּלייטינג איז ווי גייט: ערשטער,פּאָמפּעדי וואַקוום קאַמער, און דעמאָלטוואַרטןדי וואַקוום דרוק צו 4X10 ⁻ ³ פּאַאָדער בעסער, עס איז נייטיק צו פאַרבינדן די הויך וואָולטידזש מאַכט צושטעלן און בויען אַ נידעריק טעמפּעראַטור פּלאַזמע געגנט פון נידעריק וואָולטידזש אָפּזאָגן גאַז צווישן די סאַבסטרייט און די יוואַפּערייטער.פאַרבינדן די סאַבסטרייט ילעקטראָוד מיט 5000 וו דק נעגאַטיוו הויך וואָולטידזש צו פאָרעם אַ שייַנען אָפּזאָגן פון די קאַטאָוד.ינערט גאַז ייאַנז זענען דזשענערייטאַד לעבן די נעגאַטיוו שייַנען געגנט.זיי אַרייַן די קאַטאָוד פינצטער געגנט און זענען אַקסעלערייטיד דורך די עלעקטריק פעלד און באָמבאַרדירן די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט.דאָס איז אַ רייניקונג פּראָצעס, און דעמאָלט אַרייַן די קאָוטינג פּראָצעס.דורך די ווירקונג פון באַמבאַרדמענט באַהיצונג, עטלעכע פּלייטינג מאַטעריאַלס זענען וואַפּאָריזעד.די פּלאַזמע געגנט גייט אריין די פּראָטאָנס, קאַליידז מיט עלעקטראָנס און ינערט גאַז ייאַנז, און אַ קליין טייל פון זיי זענען ייאַנייזד, די ייאַנייזד ייאַנז מיט הויך ענערגיע וועט באָמבאַרדירן די פילם ייבערפלאַך און פֿאַרבעסערן די פילם קוואַליטעט צו עטלעכע מאָס.
דער פּרינציפּ פון וואַקוום יאָן פּלייטינג איז: אין די וואַקוום קאַמער, ניצן די גאַז אָפּזאָגן דערשיינונג אָדער די יאָניזעד טייל פון די וואַפּאָריזעד מאַטעריאַל, אונטער די באַמבאַרדמענט פון די וואַפּאָריזעד מאַטעריאַל ייאַנז אָדער גאַז ייאַנז, סיימאַלטייניאַסלי אַוועקלייגן די וואַפּאָריזעד סאַבסטאַנסיז אָדער זייער רעאַקטאַנץ אויף די סאַבסטרייט צו קריגן אַ דין פילם.די יאָן קאָוטינגמאַשיןקאַמביינז וואַקוום יוואַפּעריישאַן, פּלאַזמע טעכנאָלאָגיע און גאַז שייַנען אָפּזאָגן, וואָס ניט בלויז ימפּרוווז די פילם קוואַליטעט, אָבער אויך יקספּאַנדז די אַפּלאַקיישאַן קייט פון די פילם.די אַדוואַנטידזשיז פון דעם פּראָצעס זענען שטאַרק דיפראַקשאַן, גוט פילם אַדכיזשאַן און פאַרשידן קאָוטינג מאַטעריאַלס.דער פּרינציפּ פון יאָן פּלייטינג איז געווען ערשטער פארגעלייגט דורך DM Mattox.עס זענען פילע טייפּס פון יאָן פּלאַטינג.די מערסט פּראָסט טיפּ איז יוואַפּעריישאַן באַהיצונג, אַרייַנגערעכנט קעגנשטעל באַהיצונג, עלעקטראָן שטראַל באַהיצונג, פּלאַזמע עלעקטראָן שטראַל באַהיצונג, הויך-אָפטקייַט ינדאַקשאַן באַהיצונג און אנדערע באַהיצונג מעטהאָדס.
פּאָסטן צייט: פעברואר 14-2023