די סעריע פון ויסריכט ניצט מאַגנטראָן טאַרגאַץ צו גער קאָוטינג מאַטעריאַלס אין נאַנאָמעטער סייזד פּאַרטיקאַלז, וואָס זענען דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון סאַבסטרייץ צו פאָרעם דין פילמס.די ראָולד פילם איז געשטעלט אין די וואַקוום קאַמער.דורך די עלעקטריק געטריבן וויינדינג סטרוקטור, איין עק נעמט די פילם און די אנדערע לייגט די פילם.עס האלט צו פאָרן דורך די ציל געגנט און נעמט די ציל פּאַרטיקאַלז צו פאָרעם אַ געדיכט פילם.
כאַראַקטעריסטיש:
1. נידעריק טעמפּעראַטור פילם פאָרמינג.די טעמפּעראַטור האט אַ קליין ווירקונג אויף די פילם און וועט נישט פּראָדוצירן דיפאָרמיישאַן.עס איז פּאַסיק פֿאַר ליבלינג, פּי און אנדערע באַזע מאַטעריאַל שפּול פילמס.
2. די פילם גרעב קענען זיין דיזיינד.דין אָדער דיק קאָוטינגז קענען זיין דיזיינד און דאַפּאַזיטיד דורך פּראָצעס אַדזשאַסטמאַנט.
3. קייפל ציל אָרט פּלאַן, פלעקסאַבאַל פּראָצעס.די גאנצע מאַשין קענען זיין יקוויפּט מיט אַכט טאַרגאַץ, וואָס קענען זיין געוויינט ווי פּשוט מעטאַל טאַרגאַץ אָדער קאַמפּאַונד און אַקסייד טאַרגאַץ.עס קענען זיין געוויינט צו צוגרייטן איין-שיכטע פילמס מיט איין סטרוקטור אָדער מאַלטי-שיכטע פילמס מיט קאַמפּאַזאַט סטרוקטור.דער פּראָצעס איז זייער פלעקסאַבאַל.
די עקוויפּמענט קענען צוגרייטן ילעקטראָומאַגנעטיק שילדינג פילם, פלעקסאַבאַל קרייַז ברעט קאָוטינג, פאַרשידן דיעלעקטריק פילמס, מאַלטי-שיכטע אַר אַנטירעפלעקטיאָן פילם, הר הויך אַנטירעפלעקטיאָן פילם, קאָליר פילם, אאז"ו ו. די ויסריכט האט אַ זייער ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז און איין-שיכטע פילם דעפּאַזישאַן. קענען זיין געענדיקט דורך איין-צייַט פילם דעפּאַזישאַן.
די ויסריכט קענען אַדאַפּט פּשוט מעטאַל טאַרגאַץ אַזאַ ווי Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, עטק, אָדער קאַמפּאַונד טאַרגאַץ אַזאַ ווי SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, עטק.
די ויסריכט איז קליין אין גרייס, סאָליד אין סטרוקטור פּלאַן, קליין אין שטאָק געגנט, נידעריק אין ענערגיע קאַנסאַמשאַן און פלעקסאַבאַל אין אַדזשאַסטמאַנט.עס איז זייער פּאַסיק פֿאַר פּראָצעס פאָרשונג און אַנטוויקלונג אָדער קליין פּעקל מאַסע פּראָדוקציע.