1 、 פֿעיִקייטן פון ספּאַטער קאָוטינג
קאַמפּערד מיט קאַנווענשאַנאַל וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג, ספּאַטערינג קאָוטינג האט די פאלגענדע פֿעיִקייטן:
(1) קיין מאַטעריע קענען זיין ספּאַטערד, ספּעציעל הויך מעלטינג פונט, נידעריק פּאַרע דרוק עלעמענטן און קאַמפּאַונדז.ווי לאַנג ווי עס איז אַ האַרט, צי עס איז אַ מעטאַל, סעמיקאָנדוקטאָר, ינסאַלייטער, קאַמפּאַונד און געמיש, אאז"ו ו, צי עס איז אַ בלאָק, גראַניאַלער מאַטעריאַל קענען זיין געוויינט ווי אַ ציל מאַטעריאַל.זינט קליין דיקאַמפּאָוזישאַן און פראַקשאַניישאַן אַקערז ווען ספּוטערינג ינסאַלייטינג מאַטעריאַלס און אַלויז אַזאַ ווי אַקסיידז, זיי קענען זיין געניצט צו צוגרייטן דין פילמס און צומיש פילמס מיט מונדיר קאַמפּאָונאַנץ ענלעך צו די פון די ציל מאַטעריאַל, און אפילו סופּערקאַנדוקטינג פילמס מיט קאָמפּלעקס חיבורים. די ריאַקטיוו ספּאַטערינג אופֿן קענען אויך זיין געניצט צו פּראָדוצירן פילמס פון קאַמפּאַונדז גאָר אַנדערש פון די ציל מאַטעריאַל, אַזאַ ווי אַקסיידז, ניטרידעס, קאַרבידעס און סיליסיידז.
(2) גוט אַדכיזשאַן צווישן די ספּאַטערד פילם און די סאַבסטרייט.זינט די ענערגיע פון ספּאַטערד אַטאָמס איז 1-2 אָרדערס פון מאַגנאַטוד העכער ווי אַז פון יוואַפּערייטיד אַטאָמס, די ענערגיע קאַנווערזשאַן פון הויך-ענערגיע פּאַרטיקאַלז דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט דזשענערייץ העכער טערמאַל ענערגיע, וואָס ימפּרוווז די אַדכיזשאַן פון ספּאַטערד אַטאָמס צו די סאַבסטרייט.א טייל פון די הויך-ענערגיע ספּאַטערד אַטאָמס וועט זיין ינדזשעקטיד אין וועריינג דיגריז, פאָרמינג אַ אַזוי גערופענע פּסעוודאָ-דיפיוזשאַן שיכטע אויף די סאַבסטרייט ווו די ספּאַטערד אַטאָמס און די אַטאָמס פון די סאַבסטרייט מאַטעריאַל "מיסבאַבאַל" מיט יעדער אנדערער.אין דערצו, בעשאַס די באָמבאַרדמענט פון די ספּאַטערינג פּאַרטיקאַלז, די סאַבסטרייט איז שטענדיק קלינד און אַקטיווייטיד אין די פּלאַזמע זאָנע, וואָס רימוווז די שוואַך אַדכירד פּרעסיפּיטאַטעד אַטאָמס, פּיוראַפייז און אַקטאַווייץ די סאַבסטרייט ייבערפלאַך.ווי אַ רעזולטאַט, די אַדכיזשאַן פון די ספּאַטערד פילם שיכטע צו די סאַבסטרייט איז זייער ימפּרוווד.
(3) הויך געדיכטקייַט פון ספּאַטער קאָוטינג, ווייניקער פּינכאָולז, און העכער ריינקייַט פון די פילם שיכטע ווייַל עס איז קיין קרוסאַבאַל קאַנטאַמאַניישאַן, וואָס איז אַנאַוווידאַבאַל אין וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן בעשאַס די ספּאַטער קאָוטינג פּראָצעס.
(4) גוט קאַנטראָולאַביליטי און רעפּעאַטאַביליטי פון פילם גרעב.זינט די אָפּזאָגן קראַנט און ציל קראַנט קענען זיין קאַנטראָולד סעפּעראַטלי בעשאַס ספּאַטער קאָוטינג, די פילם גרעב קענען זיין קאַנטראָולד דורך קאַנטראָולינג די ציל קראַנט, אַזוי די קאַנטראָולאַביליטי פון די פילם גרעב און די רעפּראָדוסיביליטי פון די פילם גרעב דורך קייפל ספּאַטערינג פון ספּאַטער קאָוטינג זענען גוט , און די פילם פון פּרידיטערמינד גרעב קענען זיין יפעקטיוולי קאָוטאַד.אין דערצו, ספּאַטער קאָוטינג קענען באַקומען אַ מונדיר פילם גרעב איבער אַ גרויס שטח.אָבער, פֿאַר אַלגעמיין ספּיטטער קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (דער הויפּט דיפּאָלע ספּוטערינג), די עקוויפּמענט איז קאָמפּליצירט און ריקווייערז הויך דרוק מיטל;די פילם פאָרמירונג גיכקייַט פון ספּאַטער דעפּאַזישאַן איז נידעריק, די וואַקוום יוואַפּעריישאַן דעפּאַזישאַן קורס איז 0.1 ~ 5 נם / מין, בשעת די ספּאַטערינג קורס איז 0.01 ~ 0.5 נם / מין;די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור העכערונג איז הויך און שפּירעוודיק צו טומע גאַז, אאז"ו ו. אָבער, רעכט צו דער אַנטוויקלונג פון רף ספּוטערינג און מאַגנטראָן ספּוטערינג טעכנאָלאָגיע, גרויס פּראָגרעס איז באקומען אין דערגרייכן שנעל ספּוטערינג דעפּאַזישאַן און רידוסינג די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור.דערצו, אין די לעצטע יאָרן, נייַע ספּאַטער קאָוטינג מעטהאָדס זענען ינוועסטאַגייטאַד - באזירט אויף פּלאַנער מאַגנטראָן ספּוטערינג - צו מינאַמייז די ספּאַטערינג לופט דרוק ביז נול-דרוק ספּוטערינג, ווו די דרוק פון די ינטייק גאַז בעשאַס ספּאַטערינג וועט זיין נול.
פּאָסטן צייט: נאוועמבער-08-2022