Awọn ẹrọ integrates magnetron sputtering ati resistance evaporation ọna ẹrọ, ati ki o pese a ojutu fun a bo orisirisi ti o yatọ sobsitireti.
Ohun elo ti a bo idanwo jẹ lilo ni akọkọ ni awọn ile-ẹkọ giga ati awọn ile-iṣẹ iwadii imọ-jinlẹ, ati pe o le pade ọpọlọpọ awọn ibeere idanwo.Orisirisi awọn ibi-afẹde igbekale ti wa ni ipamọ fun ohun elo, eyiti o le tunto ni irọrun lati pade iwadii imọ-jinlẹ ati idagbasoke ni awọn aaye oriṣiriṣi.Eto sputtering Magnetron, eto cathode arc, eto evaporation elekitironi, eto evaporation resistance, CVD, PECVD, orisun ion, eto abosi, eto alapapo, imuduro onisẹpo mẹta, bbl le yan.Awọn alabara le yan gẹgẹbi awọn iwulo oriṣiriṣi wọn.
Ohun elo naa ni awọn abuda ti irisi ẹlẹwa, ọna iwapọ, agbegbe ilẹ kekere, iwọn giga ti adaṣe, iṣẹ ti o rọrun ati irọrun, iṣẹ iduroṣinṣin ati itọju rọrun.
Ohun elo naa le lo si ṣiṣu, irin alagbara, irin elekitiroti / awọn ẹya ṣiṣu, gilasi, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran.Awọn fẹlẹfẹlẹ irin ti o rọrun gẹgẹbi titanium, chromium, fadaka, bàbà, aluminiomu tabi awọn fiimu idapọmọra irin gẹgẹbi TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC le ti pese sile.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |