ṣafihan:
Ni aaye ti imọ-ẹrọ ifisilẹ fiimu tinrin, evaporation tan ina elekitironi jẹ ọna pataki ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ lati ṣe agbejade awọn fiimu tinrin didara ga.Awọn ohun-ini alailẹgbẹ rẹ ati pipe ti ko ni idiyele jẹ ki o jẹ yiyan ti o wuyi fun awọn oniwadi ati awọn aṣelọpọ.Sibẹsibẹ, bii ilana eyikeyi, evaporation e-beam ni awọn idiwọn akude rẹ.
Awọn anfani ti evaporation tan ina elekitironi:
1. Iwọn iṣipopada giga: E-beam evaporation ni o ni iwọn idalẹnu ti o dara julọ ti a fiwe si awọn ọna miiran gẹgẹbi igbẹru ti o gbona tabi itọlẹ sputter.Eyi jẹ ki iṣelọpọ awọn fiimu tinrin daradara siwaju sii, fifipamọ akoko ati awọn orisun.
2. Mu didara fiimu dara: E-beam evaporation le gbe awọn fiimu pẹlu ifaramọ ti o dara julọ ati mimọ.Agbara giga ti itanna elekitironi ṣe iranlọwọ lati sọ di mimọ daradara ti sobusitireti, ti o mu abajade didara fiimu ti o dara julọ ati ilọsiwaju iṣẹ ọja ipari.
3. Iṣakoso kongẹ ti fiimu sisanra: Electron tan evaporation le mọ iṣakoso kongẹ ti sisanra fiimu ti a fi silẹ.Ipele konge yii ṣe pataki fun awọn ohun elo ti o nilo awọn sisanra Layer kongẹ, gẹgẹ bi awọn ideri opiti.
Awọn alailanfani ti evaporation tan ina elekitironi:
1. Ibamu ohun elo to lopin: E-beam evaporation ko dara fun gbogbo awọn ohun elo.Awọn ohun elo kan, paapaa awọn ti o ni awọn aaye yo kekere tabi awọn igara oru giga, le ma ni anfani lati koju ooru gbigbona ti ipilẹṣẹ nipasẹ tan ina elekitironi.Eyi ṣe idiwọn awọn ohun elo ti o le wa ni ipamọ nipa lilo ilana yii.
2. Awọn ohun elo ti o ga julọ: Ti a bawe pẹlu awọn ọna ifisilẹ miiran, ohun elo ti a beere fun evaporation elekitironi jẹ iye owo.Idoko-owo akọkọ yii le ṣe idiwọ idiwọ owo fun awọn iṣẹ ṣiṣe iwọn-kekere tabi awọn ohun elo iwadii pẹlu awọn isuna ti o lopin.
3. Idiju iṣeto ati itọju: Ṣiṣeto ati mimu eto evaporation e-beam le jẹ nija.O nilo imọran ati imọran, bakanna bi itọju deede lati rii daju pe iṣẹ ṣiṣe deede.Awọn idiju ti o kan jẹ ki o ṣoro fun awọn tuntun wọnyẹn si awọn ilana ifisilẹ fiimu tinrin lati loye.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-04-2023