Imọ-ẹrọ Vapor Kemikali (CVD) jẹ imọ-ẹrọ ti n ṣẹda fiimu ti o lo alapapo, imudara pilasima, iranlọwọ fọto ati awọn ọna miiran lati jẹ ki awọn nkan gaseous gbe awọn fiimu ti o lagbara lori dada sobusitireti nipasẹ iṣesi kemikali labẹ deede tabi titẹ kekere.
Ni gbogbogbo, iṣesi ninu eyiti ifaseyin jẹ gaasi ati ọkan ninu awọn ọja ti o ni agbara ni a pe ni iṣe CVD.Ọpọlọpọ awọn iru awọn ibora ti a pese sile nipasẹ iṣe CVD, pataki ni ilana semikondokito.Fun apẹẹrẹ, ni aaye semikondokito, isọdọtun ti awọn ohun elo aise, igbaradi ti awọn fiimu gilaasi kan ti o ni agbara giga, ati idagbasoke ti polycrystalline ati awọn fiimu amorphous, lati awọn ẹrọ itanna si awọn iyika iṣọpọ, gbogbo wọn ni ibatan si imọ-ẹrọ CVD.Ni afikun, itọju dada ti awọn ohun elo jẹ ojurere nipasẹ awọn eniyan.Fun apẹẹrẹ, awọn ohun elo lọpọlọpọ gẹgẹbi ẹrọ, riakito, afẹfẹ, iṣoogun ati ohun elo kemikali le ṣee lo lati mura awọn aṣọ iṣẹ pẹlu ipata resistance, ooru resistance, wọ resistance ati okun dada nipasẹ CVD fiimu fọọmu ni ibamu si awọn ibeere oriṣiriṣi wọn.
—— Nkan yii jẹ atẹjade nipasẹ Guangdong Zhenhua, olupese tiigbale ti a bo ẹrọ
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-04-2023