Pilasima agbara giga le bombard ati ki o ṣe itanna awọn ohun elo polima, fifọ awọn ẹwọn molikula wọn, ṣiṣẹda awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ, jijẹ agbara dada, ati ipilẹṣẹ etching.Itọju dada pilasima ko ni ipa eto inu ati iṣẹ ti ohun elo olopobobo, ṣugbọn awọn ohun-ini dada ni pataki nikan.
Ni ibere ki o má ba bajẹ awọn abuda ti ohun elo funrararẹ, itọju iyipada dada pilasima nigbagbogbo ko lo pilasima pẹlu iwuwo agbara giga.Iyatọ laarin itọju yii ati awọn itọju pilasima miiran jẹ:
1) Ma ṣe ta awọn ions tabi awọn ọta sinu dada ti a tọju (gẹgẹbi fifin ion).
2) Maṣe yọ awọn ohun elo ti o tobi ju (gẹgẹbi sputtering tabi etching).
3) Maṣe ṣafikun diẹ ẹ sii ju awọn ohun elo atomiki kan diẹ sii si oke (gẹgẹbi ifisilẹ).
Ni kukuru, itọju dada pilasima nikan kan pẹlu awọn fẹlẹfẹlẹ atomiki diẹ ti ita julọ.
Awọn paramita ilana fun iyipada dada pilasima ni akọkọ pẹlu titẹ gaasi, igbohunsafẹfẹ aaye ina, agbara idasilẹ, akoko iṣe, bbl Awọn ilana ilana jẹ rọrun lati ṣatunṣe.Lakoko ilana iyipada pilasima, ọpọlọpọ awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ ni itara lati fesi pẹlu oju ti a tọju ti wọn wa si olubasọrọ pẹlu, ati pe o le ṣee lo lati ṣe itọju dada ohun elo naa.Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ọna ibile, iyipada dada pilasima ni awọn anfani ti ilana ti o rọrun, iṣiṣẹ ti o rọrun, idiyele kekere, ti ko ni idoti, laisi egbin, iṣelọpọ ailewu, ati ṣiṣe giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-07-2023