Aaki okun waya ti o gbona ti mu ilọsiwaju imọ-ẹrọ itusilẹ kemikali pilasima ti nlo okun waya arc ti o gbona lati gbe pilasima arc, abbreviated bi imọ-ẹrọ arc PECVD ti o gbona.Imọ-ẹrọ yii jẹ iru si imọ-ẹrọ aabọ ti o gbona okun arc ibon ion, ṣugbọn iyatọ ni pe fiimu ti o lagbara ti a gba nipasẹ ideri okun waya arc ibon ion ti o gbona nlo ṣiṣan itanna arc ina ti o jade nipasẹ ibon okun waya gbona lati gbona ati yọ irin naa kuro ninu awọn crucible, nigba ti gbona waya aaki ina PECVD ti wa ni je pẹlu lenu ategun, gẹgẹ bi awọn CH4 ati H2, eyi ti o ti lo fun depositing Diamond fiimu.Nipa gbigbe ara lori isunjade arc iwuwo giga-giga ti o jade nipasẹ ibon arc okun waya ti o gbona, awọn ions gaasi ifaseyin ni itara lati gba ọpọlọpọ awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ, pẹlu awọn ions gaasi, ions atomiki, awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ, ati bẹbẹ lọ.
Ninu ẹrọ PECVD okun waya ti o gbona, awọn coils itanna meji tun wa ni fifi sori ẹrọ ni ita yara ti a bo, nfa sisan elekitironi iwuwo giga lati yiyi lakoko gbigbe si anode, jijẹ iṣeeṣe ikọlu ati ionization laarin ṣiṣan itanna ati gaasi ifaseyin. .Epo itanna eletiriki tun le ṣajọpọ sinu iwe arc lati mu iwuwo pilasima ti gbogbo iyẹwu ifisilẹ.Ni pilasima arc, iwuwo ti awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ jẹ giga, ti o jẹ ki o rọrun lati fi awọn fiimu diamond ati awọn ipele fiimu miiran sori ibi iṣẹ.
——Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, aolupese ti opitika ti a bo ero.
Akoko ifiweranṣẹ: May-05-2023