Iboju igbale ni akọkọ pẹlu ifisilẹ igbale igbale, ibora sputtering ati ibora ion, gbogbo eyiti a lo lati fi ọpọlọpọ irin ati awọn fiimu ti kii ṣe irin sori dada ti awọn ẹya ṣiṣu nipasẹ distillation tabi sputtering labẹ awọn ipo igbale, eyiti o le gba ibora tinrin pupọ. pẹlu awọn dayato si anfani ti sare adhesion, ṣugbọn awọn owo ti jẹ tun ti o ga, ati awọn orisi ti awọn irin ti o le wa ni o ṣiṣẹ ni o wa kere, ati ki o ti wa ni gbogbo lo fun iṣẹ-ṣiṣe ti a bo ti ga-ite awọn ọja.
Ifilelẹ orule igbale jẹ ọna ti alapapo irin labẹ igbale giga, ṣiṣe ki o yo, yọ kuro, ati ṣe fiimu irin tinrin lori oju ti ayẹwo lẹhin itutu agbaiye, pẹlu sisanra ti 0.8-1.2 um.O kun ni kekere concave ati convex awọn ẹya ara lori dada ti awọn ọja akoso lati gba a digi-bi dada.When igbale oru igbale ti wa ni ošišẹ ti boya lati gba a reflective ipa digi tabi lati igbale vaporize a irin pẹlu kekere adhesion, isalẹ dada. gbọdọ wa ni ti a bo.
Sputtering nigbagbogbo n tọka si sputtering magnetron, eyiti o jẹ ọna itọka iwọn otutu kekere ti o ga julọ.Ilana naa nilo igbale ti nipa 1 × 10-3Torr, ti o jẹ 1.3 × 10-3Pa igbale ipinle ti o kún fun argon gaasi inert (Ar), ati laarin awọn sobusitireti ṣiṣu (anode) ati ibi-afẹde irin (cathode) pẹlu giga-foliteji. lọwọlọwọ taara, nitori simi elekitironi ti gaasi inert ti ipilẹṣẹ nipasẹ itusilẹ didan, iṣelọpọ pilasima, pilasima naa yoo bu jade awọn ọta ti ibi-afẹde irin ati fi wọn pamọ sori sobusitireti ṣiṣu.Pupọ julọ awọn aṣọ wiwọ irin gbogbogbo lo DC sputtering, lakoko ti awọn ohun elo seramiki ti kii ṣe adaṣe lo RF AC sputtering.
Ion ti a bo jẹ ọna kan ninu eyiti a ti lo itujade gaasi lati ionize gaasi tabi nkan ti o yọ kuro labẹ awọn ipo igbale, ati nkan ti o gbejade tabi awọn reactants ti wa ni ipamọ lori sobusitireti nipasẹ bombard ti awọn ions gaasi tabi awọn ions ti nkan ti o gbejade.Iwọnyi pẹlu abọ ion magnetron sputtering ion, ibora ion ifaseyin, ṣofo cathode itusilẹ ion ibora (ọna fifin eefin cathode ti o ṣofo), ati bobo ion olona-arc (cobo arc ion cathode).
Inaro ni ilopo-apa magnetron sputtering lemọlemọfún bo ni ila
Ohun elo jakejado, le ṣee lo fun awọn ọja itanna gẹgẹbi iwe ajako ikarahun EMI Layer shielding, awọn ọja alapin, ati paapaa gbogbo awọn ọja ago atupa laarin sipesifikesonu iga kan le ṣee ṣe.Agbara ikojọpọ ti o tobi, didi iwapọ ati didamu ti awọn agolo ina conical fun ibora apa meji, eyiti o le ni agbara ikojọpọ nla.Didara iduroṣinṣin, aitasera to dara ti Layer fiimu lati ipele si ipele.Iwọn giga ti adaṣe ati idiyele iṣẹ ṣiṣe kekere.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-07-2022