Ilana polymerization taara pilasima
Ilana ti polymerization Plasma jẹ irọrun ti o rọrun fun mejeeji ohun elo polymerization elekiturodu inu ati ohun elo polymerization elekiturodu ita, ṣugbọn yiyan paramita jẹ pataki diẹ sii ni pilasima polymerization, nitori awọn paramita ni ipa nla lori eto ati iṣẹ ti awọn fiimu polima lakoko pilasima polymerization.
Awọn igbesẹ iṣiṣẹ fun polymerization pilasima taara jẹ bi atẹle:
(1) Igbale
Igbale abẹlẹ ti polymerization labẹ awọn ipo igbale yẹ ki o fa soke si 1.3 × 10-1Pa.Fun awọn aati polymerization ti o nilo awọn ibeere pataki fun ṣiṣakoso atẹgun tabi akoonu nitrogen, ibeere igbale abẹlẹ paapaa ga julọ.
(2) Idahun agbara monomer tabi gaasi adalu ti gaasi ti ngbe ati monomer
Iwọn igbale jẹ 13-130Pa.Fun pilasima polymerization ti o nilo iṣẹ, ipo iṣakoso sisan ti o yẹ ati iwọn sisan ni a gbọdọ yan, ni gbogbogbo 10.100mL/min.Ni pilasima, awọn ohun elo monomer ti wa ni ionized ati pipin nipasẹ bombardment ti awọn patikulu agbara, ti o mu ki awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ gẹgẹbi awọn ions ati awọn jiini ti nṣiṣe lọwọ.Awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ ti mu ṣiṣẹ nipasẹ pilasima le faragba pilasima polymerization ni wiwo ti ipele gaasi ati ipele to lagbara.monomer jẹ orisun ti iṣaju fun pilasima polymerization, ati gaasi ifasẹwọle ati monomer yoo ni mimọ kan.
(3) Asayan ti simi ipese agbara
Plasma le ṣe ipilẹṣẹ nipa lilo DC, igbohunsafẹfẹ giga, RF, tabi awọn orisun agbara makirowefu lati pese agbegbe pilasima fun polymerization.Aṣayan ipese agbara jẹ ipinnu da lori awọn ibeere fun eto ati iṣẹ ti polima.
(4) Asayan ipo idasilẹ
Fun awọn ibeere polymer, pilasima pilasima le yan awọn ipo idasilẹ meji: itusilẹ ti nlọ lọwọ tabi itujade pulse.
(5) Asayan ti yosita sile
Nigbati o ba n ṣe polymerization Plasma, awọn aye itusilẹ nilo lati gbero lati awọn aye pilasima, awọn ohun-ini polima ati awọn ibeere igbekalẹ.Iwọn agbara ti a lo lakoko polymerization jẹ ipinnu nipasẹ iwọn didun ti iyẹwu igbale, iwọn elekiturodu, oṣuwọn sisan monomer ati igbekalẹ, oṣuwọn polymerization, ati igbekalẹ polima ati iṣẹ ṣiṣe.Fun apẹẹrẹ, ti o ba jẹ pe iwọn didun iyẹwu ifaseyin jẹ 1L ati RF Plasma polymerization ti gba, agbara idasilẹ yoo wa ni iwọn 10 ~ 30W.Labẹ iru awọn ipo bẹẹ, pilasima ti ipilẹṣẹ le ṣajọpọ lati ṣe fiimu tinrin lori oju ti iṣẹ-ṣiṣe.Iwọn idagbasoke ti fiimu polymerization Plasma yatọ pẹlu ipese agbara, iru monomer ati oṣuwọn sisan, ati awọn ipo ilana.Ni gbogbogbo, oṣuwọn idagba jẹ 100nm/min ~ 1um/min.
(6) Wiwọn paramita ni pilasima polymerization
Awọn paramita pilasima ati awọn aye ilana lati ṣe iwọn ni pilasima polymerization pẹlu: foliteji itusilẹ, lọwọlọwọ idasilẹ, igbohunsafẹfẹ idasilẹ, iwọn otutu Electron, iwuwo, iru ẹgbẹ ifọkansi ati ifọkansi, bbl
——Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, aolupese ti opitika ti a bo ero.
Akoko ifiweranṣẹ: May-05-2023