Ilana Sisan ti Sputtering Coating Machine

1. Bombardment ninu sobusitireti

1.1) Sputtering ti a bo ẹrọ lo didan didan lati nu sobusitireti.Iyẹn ni lati sọ, gba agbara gaasi argon sinu iyẹwu naa, foliteji itusilẹ wa ni ayika 1000V, Lẹhin titan ipese agbara, itusilẹ didan ti wa ni ipilẹṣẹ, ati pe sobusitireti ti di mimọ nipasẹ bombardment argon ion.

1.2) Ni awọn ẹrọ ti n ṣabọ sputtering ti iṣelọpọ ti iṣelọpọ awọn ohun ọṣọ giga-giga, awọn ions titanium ti o jade nipasẹ awọn orisun arc kekere ni a lo julọ fun mimọ.Ẹrọ ti a fi n ṣe itọlẹ ti wa ni ipese pẹlu orisun arc kekere kan, ati ṣiṣan ion titanium ni pilasima arc ti a ṣe nipasẹ isunmọ orisun arc kekere ti a lo lati bombard ati nu sobusitireti.

2. Titanium nitride ti a bo

Nigbati o ba n gbe awọn fiimu tinrin nitride titanium, ohun elo ibi-afẹde fun sputtering jẹ ibi-afẹde titanium.Ohun elo ibi-afẹde ti sopọ si elekiturodu odi ti ipese agbara sputtering, ati foliteji afojusun jẹ 400 ~ 500V;Ṣiṣan argon ti wa titi, ati igbale iṣakoso jẹ (3 ~ 8) x10^-1PA.Sobusitireti ti sopọ si elekiturodu odi ti ipese agbara aiṣedeede, pẹlu foliteji ti 100 ~ 200V.

Lẹhin titan ipese agbara ti ibi-afẹde titanium sputtering, itusilẹ didan ti wa ni ipilẹṣẹ, ati awọn ions argon agbara-giga bombard ibi-afẹde sputtering, sputtering titanium awọn ọta lati ibi-afẹde.

Awọn nitrogen gaasi lenu ti wa ni a ṣe, ati awọn titanium awọn ọta ati nitrogen ti wa ni ionized sinu titanium ions ati nitrogen ions ninu awọn ti a bo iyẹwu.Labẹ ifamọra ti aaye ina aiṣedeede odi ti a lo si sobusitireti, awọn ions titanium ati awọn ions nitrogen yara si dada ti sobusitireti fun iṣesi kemikali ati ifisilẹ lati ṣe fẹlẹfẹlẹ fiimu nitride titanium kan.

3. Ya jade sobusitireti

Lẹhin ti o ti de sisanra fiimu ti a ti pinnu tẹlẹ, pa ipese agbara sputtering, ipese agbara irẹjẹ sobusitireti, ati orisun afẹfẹ.Lẹhin iwọn otutu sobusitireti ti dinku ju 120 ℃, kun iyẹwu ti a bo pẹlu afẹfẹ ki o mu sobusitireti jade.

Yi article ti wa ni atejade nipamagnetron sputtering ti a bo ẹrọ išoogun– Guangdong Zhenhua.