Ilana ti bollow cathode ion ti a bo jẹ bi atẹle:
1, Fi Chin ingots sinu iṣubu.
2, Iṣagbesori awọn workpiece.
3, Lẹhin ti evacuating to 5 × 10-3Pa, argon gaasi ti wa ni a ṣe sinu awọn ti a bo iyẹwu lati fadaka tube, ati awọn igbale ipele jẹ ni ayika 100Pa.
4, Tan agbara abosi.
5, Lẹhin titan-an aaki agbara lati ignite awọn ṣofo cathode yosita.The alábá yosita ti wa ni ti ipilẹṣẹ ninu awọn bọtini tube, Yiyọ foliteji ni 800 ~ 1000V, Awọn aaki-igbega lọwọlọwọ jẹ 30 ~ 50A.Due si ṣofo cathode ipa ti alábá yosita, Giga didan iwuwo lọwọlọwọ, Iwọn iwuwo giga ti awọn ions eku ni tube fadaka bombards ogiri ti tube vantage, Jẹ ki ogiri tube ni iyara gbona si itujade ti sisan elekitironi, ipo itusilẹ lati itusilẹ didan iyipada lojiji si yosita arc, Voltage jẹ 40 ~ 70V, Lọwọlọwọ jẹ 80 ~ 300A.Silver tube otutu Gigun loke 2300K, Incandescent, Emits a ga iwuwo san ti arc elekitironi lati awọn tube, ati shot si awọn anode.
6, Atunṣe ti igbale level.The igbale ipele fun alábá yosita lati ṣofo cathode ibon jẹ nipa 100 Pa,Ati awọn igbale ìyí ti a bo jẹ 8×10-1 ~ 2Pa.Nitorina, Lẹhin iginisonu ti awọn aaki yosita, Din awọn ti nwọle argon gaasi ni kete bi o ti ṣee, Ṣatunṣe ipele igbale si ibiti o dara fun ibora.
7, Titanium palara mimọ Layer.Electron sisan pẹlẹpẹlẹ awọn anodically pale Chin irin ingot,Iyipada ti kainetik agbara si gbona agbara,Evaporation ti Chin irin nipa alapapo,Vapor awọn ọta de workpiece lati fẹlẹfẹlẹ kan ti titanium fiimu.
8, Deposition of TiN.Nitrogen gaasi ti wa ni pese si awọn ti a bo iyẹwu, Nitrogen gaasi ati evaporated awọn ọta ti wa ni ionized sinu nitrogen ati titanium ions.Above awọn crucible,Ti o ga iṣeeṣe ti inelastic collisions ti titanium oru awọn ọta pẹlu ipon ṣiṣan ti kekere-agbara elekitironi, Oṣuwọn ipinya irin jẹ giga bi 20% ~ 40%, Awọn ions Titanium ṣee ṣe diẹ sii lati fesi kemikali pẹlu nitrogen gaasi ifaseyin, Deposition lati gba Layer film mantle nitride. ibon cathode ṣofo jẹ mejeeji orisun eefun, orisun miiran ti ionization.Nigba ti a bo, Awọn ti isiyi ti itanna okun ni ayika crucible yẹ ki o tun ti wa ni titunse, Fojusi awọn elekitironi tan ina si aarin ti Collapse, Bayi, awọn iwuwo agbara ti itanna sisan ti wa ni pọ.
9, Power Off.Lẹhin ti awọn fiimu sisanra Gigun awọn predetermined film sisanra,Pa aaki ipese agbara, Bias ipese agbara ati air ipese.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-08-2023