Igbale magnetron sputtering jẹ dara ni pataki fun awọn ideri ifisilẹ ifaseyin.Ni otitọ, ilana yii le ṣafipamọ awọn fiimu tinrin ti eyikeyi ohun elo afẹfẹ, carbide, ati awọn ohun elo nitride.Ni afikun, ilana naa tun dara julọ fun fifisilẹ ti awọn ẹya fiimu multilayer, pẹlu awọn apẹrẹ opiti, awọn fiimu awọ, awọn aṣọ wiwọ-aṣọ, nano-laminates, awọn aṣọ ibora, awọn fiimu insulating, bbl Ni kutukutu bi 1970, fiimu opiti didara to gaju. awọn apẹẹrẹ idasile ti ni idagbasoke fun ọpọlọpọ awọn ohun elo Layer fiimu opiti.Awọn ohun elo wọnyi pẹlu awọn ohun elo itọsi sihin, awọn semikondokito, awọn polima, oxides, carbides, ati nitrides, lakoko ti a lo awọn fluorides ninu awọn ilana bii ibora evaporative.
Anfani akọkọ ti ilana sputtering magnetron ni lilo ifaseyin tabi awọn ilana ibora ti kii ṣe ifaseyin lati fi awọn ipele ti awọn ohun elo wọnyi silẹ ati iṣakoso daradara ti akopọ Layer, sisanra fiimu, isokan sisanra fiimu ati awọn ohun-ini ẹrọ ti Layer.Ilana naa ni awọn abuda bi atẹle.
1. Ti o tobi idogo oṣuwọn.Nitori lilo awọn amọna magnetron iyara to gaju, ṣiṣan ion nla le ṣee gba, ni imunadoko oṣuwọn ifisilẹ ati oṣuwọn sputtering ti ilana ibora yii.Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ilana ibora sputtering miiran, sputtering magnetron ni agbara giga ati ikore giga, ati pe o lo pupọ ni ọpọlọpọ iṣelọpọ ile-iṣẹ.
2. Agbara agbara giga.Ibi-afẹde sputtering Magnetron ni gbogbogbo yan foliteji laarin iwọn 200V-1000V, nigbagbogbo jẹ 600V, nitori foliteji ti 600V jẹ laarin iwọn to munadoko julọ ti ṣiṣe agbara.
3. Low sputtering agbara.Foliteji ibi-afẹde magnetron ti lo ni kekere, ati aaye oofa ṣe ihamọ pilasima nitosi cathode, eyiti o ṣe idiwọ awọn patikulu agbara ti o ga julọ lati ṣe ifilọlẹ sori sobusitireti naa.
4, Low sobusitireti otutu.A le lo anode lati ṣe itọsọna kuro awọn elekitironi ti o ṣẹda lakoko idasilẹ, ko nilo atilẹyin sobusitireti lati pari, eyiti o le dinku bombu elekitironi ti sobusitireti naa ni imunadoko.Nitorinaa iwọn otutu sobusitireti jẹ kekere, eyiti o jẹ apẹrẹ pupọ fun diẹ ninu awọn sobusitireti ṣiṣu ti ko ni sooro pupọ si ibora otutu giga.
5, Magnetron sputtering afojusun dada etching ni ko aṣọ.Magnetron sputtering afojusun dada etching uneven ti wa ni ṣẹlẹ nipasẹ awọn uneven oofa aaye ti awọn afojusun.Ipo ti oṣuwọn etching ibi-afẹde ti tobi, ki iwọn lilo ti o munadoko ti ibi-afẹde naa jẹ kekere (oṣuwọn lilo 20-30% nikan).Nitorinaa, lati mu iṣamulo ibi-afẹde pọ si, pinpin aaye oofa nilo lati yipada nipasẹ awọn ọna kan, tabi lilo awọn oofa ti n gbe ni cathode tun le mu iṣamulo ibi-afẹde dara si.
6, Akopọ afojusun.Le ṣe fiimu alloy ibi-afẹde idapọpọ.Lọ́wọ́lọ́wọ́ báyìí, lílo ìlànà ìfọkànsí ọ̀rọ̀ àfojúsùn magnetron ti ni àṣeyọrí tí a bo lórí Ta-Ti alloy, (Tb-Dy)-Fe àti Gb-Co film alloy.Eto ibi-afẹde akojọpọ ni awọn oriṣi mẹrin, lẹsẹsẹ, ni ibi-afẹde inlaid yika, ibi-afẹde inlaid square, ibi-afẹde inlaid onigun kekere ati ibi-afẹde inlaid eka.Lilo ti eka inlaid eto ibi-afẹde dara julọ.
7. Jakejado ibiti o ti ohun elo.Ilana sputtering Magnetron le fi ọpọlọpọ awọn eroja pamọ, awọn ti o wọpọ ni: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, ati bẹbẹ lọ.
Magnetron sputtering jẹ ọkan ninu awọn ilana ibora ti o lo pupọ julọ lati gba awọn fiimu didara ga.Pẹlu cathode tuntun kan, o ni lilo ibi-afẹde giga ati oṣuwọn fifisilẹ giga.Guangdong Zhenhua Technology igbale magnetron sputtering ti a bo ilana ti wa ni bayi o gbajumo ni lilo ninu awọn ti a bo ti o tobi-agbegbe sobsitireti.Ilana naa kii ṣe lilo nikan fun fifisilẹ fiimu kan-Layer nikan, ṣugbọn tun fun ideri fiimu pupọ-Layer, ni afikun, o tun lo ninu yiyi lati yipo ilana fun fiimu apoti, fiimu opiti, lamination ati ideri fiimu miiran.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-07-2022