Lakoko ibora evaporation, iparun ati idagbasoke ti Layer fiimu jẹ ipilẹ ti ọpọlọpọ imọ-ẹrọ ibora ion
1.Nucleation
Inigbale evaporation imo ero,Lẹhin ti fiimu Layer patikulu ti wa ni evaporated lati evaporation orisun ni awọn fọọmu ti awọn ọta, nwọn fò taara si awọn workpiece ni ga igbale ati ki o dagba awọn fiimu Layer nipa iparun ati idagbasoke lori dada ti awọn workpiece.Lakoko evaporation igbale, agbara ti awọn ọta Layer fiimu ti o salọ kuro ni orisun evaporation jẹ nipa 0.2eV.Nigbati isọdọkan laarin awọn patikulu ti fiimu fiimu jẹ tobi ju agbara isọpọ laarin awọn ọta ti Layer fiimu ati iṣẹ-iṣẹ, ṣe agbekalẹ arin erekusu kan.Atọmu Layer fiimu kan duro lori dada ti workpiece fun iye akoko ti o n ṣe agbeka alaibamu, itankale, ijira, tabi ijamba pẹlu awọn ọta miiran lati dagba awọn iṣupọ atomiki Nọmba awọn ọta ninu iṣupọ atomiki de iye pataki kan, iduroṣinṣin. arin ti wa ni akoso, ti a npe ni isokan sókè arin.
dan, ati ki o ni ọpọlọpọ awọn abawọn ati awọn igbesẹ, eyi ti o fa iyato ninu awọn adsorption agbara ti o yatọ si awọn ẹya ti awọn workpiece si awọn ipanilara awọn ọta.Agbara adsorption ti dada ti abawọn jẹ ti o tobi ju ti oju-aye deede lọ, nitorina o di ile-iṣẹ ti nṣiṣe lọwọ, eyiti o ṣe iranlọwọ fun iparun ti o fẹfẹ, ti a npe ni iparun orisirisi.Nigbati agbara iṣọpọ ba dọgba si agbara abuda, tabi agbara abuda laarin awọn ọta awọ ara ati iṣẹ-ṣiṣe ti o tobi ju agbara iṣọpọ laarin awọn ọta awo awọ, eto lamellar ti wa ni akoso.Ni imọ-ẹrọ plating ion, ipilẹ erekusu ti ṣẹda ni ọpọlọpọ awọn ọran.
2.Growth
Ni kete ti awọn mojuto ti awọn fiimu ti wa ni akoso, o tesiwaju lati dagba nipa panpe awọn atoms isẹlẹ.The erekusu dagba ati ki o darapọ pẹlu kọọkan miiran lati dagba tobi hemispheres, maa lara kan hemispherical erekusu Layer ti o ti nran lori dada ti awọn workpiece.
Nigbati awọn atomiki agbara ti fiimu Layer jẹ ga, o le tan kaakiri to lori dada ati ki o kan dan lemọlemọfún fiimu le ti wa ni akoso nigbati awọn tetele ti nwọle atomiki iṣupọ wa ni small.If awọn itankale ti awọn ọta lori dada jẹ lagbara ati awọn iwọn ti awọn iṣupọ ti a fi silẹ jẹ nla, wọn wa bi awọn ekuro ile larubawa nla. Oke ti mojuto erekusu ni ipa ojiji ti o lagbara lori apakan concave, iyẹn ni “ipa ojiji”. Isọtẹlẹ ti dada jẹ itara diẹ sii lati yiya awọn ọta ti o gbasilẹ ti o tẹle. ati idagbasoke preferential, Abajade ni ilosoke ìyí ti concavity lori dada lati dagba conical tabi columnar kirisita ti to iwọn.Sisun voids ti wa ni akoso laarin awọn conical kirisita ati awọn dada roughness iye .Fine àsopọ le ti wa ni gba ni ga igbale, pẹlu awọn idinku ti igbale ìyí, awọn microstructure ti awo ilu di nipon ati ki o nipon.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-24-2023