Kini awọn okunfa ti o kan majele ibi-afẹde ni sputtering magnetron?

1, Ibiyi ti irin agbo lori awọn afojusun dada
Nibo ni idapọmọra ti a ṣẹda ninu ilana ti dida agbo kan lati oju ilẹ ibi-afẹde irin nipasẹ ilana itusilẹ ifaseyin?Niwọn igba ti iṣesi kemikali laarin awọn patikulu gaasi ifaseyin ati awọn ọta dada ibi-afẹde n ṣe awọn ọta agbo-ara, eyiti o jẹ igbagbogbo exothermic, ooru ifasẹyin gbọdọ ni ọna lati ṣe jade, bibẹẹkọ iṣesi kemikali ko le tẹsiwaju.Labẹ awọn ipo igbale, gbigbe ooru laarin awọn gaasi ko ṣee ṣe, nitorinaa iṣesi kemikali gbọdọ waye lori ilẹ to lagbara.Ifapaya sputtering ṣe ipilẹṣẹ awọn agbo ogun lori awọn ibi ibi-afẹde, awọn ibi ipilẹ sobusitireti, ati awọn ipele igbekalẹ miiran.Ṣiṣẹda awọn agbo ogun lori dada sobusitireti ni ibi-afẹde, ṣiṣẹda awọn agbo ogun lori awọn aaye igbekalẹ miiran jẹ egbin ti awọn orisun, ati jijẹ awọn agbo ogun lori dada ibi-afẹde bẹrẹ bi orisun ti awọn ọta agbo ati ki o di idena lati pese nigbagbogbo awọn ọta yellow diẹ sii.

2, Awọn okunfa ipa ti majele ibi-afẹde
Ohun akọkọ ti o kan majele ibi-afẹde ni ipin ti gaasi ifaseyin ati gaasi sputtering, gaasi ifasẹju pupọ yoo ja si majele ibi-afẹde.Ilana sputtering ifaseyin ti wa ni ti gbe jade ni afojusun dada sputtering ikanni agbegbe han lati wa ni bo nipasẹ awọn lenu yellow tabi awọn lenu yellow ti wa ni ṣi kuro ki o si tun-farahan irin dada.Ti o ba ti awọn oṣuwọn ti yellow iran jẹ tobi ju awọn oṣuwọn ti yellow idinku, awọn yellow agbegbe agbegbe posi.Ni agbara kan, iye gaasi ifaseyin ti o ni ipa ninu iran idapọmọra pọ si ati iwọn ti iran agbo pọsi.Ti iye gaasi ifaseyin ba pọ si pupọ, agbegbe agbegbe agbo pọ si.Ati ti o ba ti lenu gaasi sisan oṣuwọn ko le wa ni titunse ni akoko, awọn oṣuwọn ti yellow agbegbe ilosoke ti wa ni ko ti tẹmọlẹ, ati awọn sputtering ikanni yoo wa ni siwaju bo nipasẹ awọn yellow, nigbati awọn sputtering afojusun wa ni kikun bo nipasẹ awọn yellow, awọn afojusun jẹ. patapata majele.

3, Àkọlé ti oloro lasan
(1) ikojọpọ ion rere: nigbati majele ibi-afẹde, Layer ti fiimu idabobo yoo ṣẹda lori aaye ibi-afẹde, awọn ions rere de ibi ibi-afẹde cathode nitori idinamọ ti Layer insulating.Ko taara tẹ awọn cathode afojusun dada, ṣugbọn accumulate lori afojusun dada, rọrun lati gbe awọn tutu aaye to arc yosita - arcing, ki awọn cathode sputtering ko le lọ lori.
(2) anode disappearance: nigbati awọn afojusun ti oloro, ilẹ igbale iyẹwu odi tun nile insulating fiimu, nínàgà awọn anode elekitironi ko le tẹ awọn anode, awọn Ibiyi ti anode disappearance lasan.

4, Alaye ti ara ti oloro afojusun
(1) Ni gbogbogbo, alafisọdipupo itujade elekitironi keji ti awọn agbo ogun irin ga ju ti awọn irin lọ.Lẹhin majele ibi-afẹde, dada ti ibi-afẹde jẹ gbogbo awọn agbo ogun irin, ati lẹhin ti o ba ti bombarded nipasẹ awọn ions, nọmba awọn elekitironi keji ti a tu silẹ pọ si, eyiti o mu ilọsiwaju ti aaye dara ati dinku ikọlu pilasima, ti o yori si foliteji sputtering kekere.Eyi dinku oṣuwọn sputtering.Ni gbogbogbo foliteji sputtering ti magnetron sputtering wa laarin 400V-600V, ati nigbati majele ibi-afẹde ba waye, foliteji sputtering dinku ni pataki.
(2) Ibi-afẹde irin ati ibi-afẹde idapọmọra ni akọkọ oṣuwọn sputtering yatọ, ni gbogbogbo iye sputtering olùsọdipúpọ ti irin jẹ ti o ga ju awọn sputtering olùsọdipúpọ ti yellow, ki awọn sputtering oṣuwọn jẹ kekere lẹhin ibi-afojusun oloro.
(3) Iṣiṣẹ sputtering ti gaasi ifaseyin ifaseyin ti wa ni akọkọ kekere ju awọn sputtering ṣiṣe ti inert gaasi, ki awọn okeerẹ sputtering oṣuwọn dinku lẹhin ti awọn ipin ti ifaseyin gaasi posi.

5, Awọn ojutu fun oloro afojusun
(1) Gba ipese agbara igbohunsafẹfẹ alabọde tabi ipese agbara ipo igbohunsafẹfẹ redio.
(2) Gba iṣakoso-pipade-lupu ti nwọle gaasi lenu.
(3) Gba awọn ibi-afẹde ibeji
(4) Ṣakoso iyipada ti ipo ibora: Ṣaaju ki o to bo, ipa ipa hysteresis ti majele ibi-afẹde ni a gba lati jẹ ki ṣiṣan afẹfẹ ti nwọle ni iwaju ti iṣelọpọ majele ibi-afẹde lati rii daju pe ilana naa wa nigbagbogbo ni ipo ṣaaju fifisilẹ. oṣuwọn silė steeply.

Nkan yii ni a tẹjade nipasẹ Imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, olupese ti ohun elo ibora igbale.