Awọnigbale ti a boẹrọ ilana ti pin si: igbale evaporation bo, igbale sputtering bo ati igbale dẹlẹ bo.
1, Igbale evaporation ti a bo
Labẹ ipo igbale, jẹ ki ohun elo naa gbejade, bii irin, irin alloy, bbl lẹhinna fi wọn silẹ sori dada sobusitireti, ọna ti a bo evaporation nigbagbogbo lo alapapo resistance, ati lẹhinna itanna tan ina bombu ti ohun elo ti a bo, ṣe wọn evaporated sinu gaasi ipele, ki o si idogo lori sobusitireti dada, itan, igbale oru iwadi oro ni awọn sẹyìn imo ero lo ninu PVD ọna.
2.Sputtering bo
Gaasi naa wa labẹ itujade didan labẹ awọn ipo igbale ti o kun (Ar) Ni akoko yii ion argon (Ar) sinu awọn ions nitrogen (Ar), Awọn ions ti wa ni iyara nipasẹ agbara ti aaye ina, ati bombard ibi-afẹde cathode eyiti Ti ṣe ohun elo ti a bo, ibi-afẹde naa yoo tu jade ati gbe silẹ lori awọn ions dada sobusitireti Awọn ions isẹlẹ ni ibora sputter, ni gbogbogbo ti a gba nipasẹ itusilẹ didan, wa ni iwọn 10-2pa si 10Pa, Nitorinaa awọn patikulu sputtered rọrun lati kọlu. pẹlu awọn ohun elo gaasi ni iyẹwu igbale nigbati o ba n fo si ọna sobusitireti, ṣiṣe itọsọna išipopada laileto ati fiimu ti o gbasilẹ rọrun lati jẹ aṣọ.
3, Iyan ti a bo
Labẹ awọn ipo igbale, Labẹ ipo igbale, Lo ilana ionisation pilasima kan lati ionise awọn ohun elo ohun elo ti a bo sinu awọn ions. ti wa ni ipamọ lori dada sobusitireti labẹ irẹjẹ odi ti o jinlẹ lati ṣe fiimu tinrin.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-23-2023