PVD ti a bo jẹ ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ akọkọ fun igbaradi awọn ohun elo fiimu tinrin
Ipilẹ fiimu naa fun dada ọja naa pẹlu ohun elo irin ati awọ ọlọrọ, ṣe ilọsiwaju resistance resistance ati ipata, ati fa igbesi aye iṣẹ naa pọ si.
Sputtering ati igbale evaporation ni meji julọ atijo PVD ibora ọna.
1, Itumọ
Ifilọlẹ orule ti ara jẹ iru ọna idagbasoke ti ara oru.Ilana gbigbe silẹ ni a ṣe labẹ igbale tabi awọn ipo idasilẹ gaasi titẹ kekere, iyẹn ni, ni pilasima otutu kekere.
Orisun ohun elo ti a bo jẹ ohun elo to lagbara.Lẹhin “evaporation tabi sputtering”, ibora ohun elo ti o lagbara tuntun ti o yatọ patapata si iṣẹ ohun elo ipilẹ ti ipilẹṣẹ lori dada ti apakan naa.
2, Ipilẹ ilana ti PVD ti a bo
1. Imujade ti awọn patikulu lati awọn ohun elo aise (nipasẹ evaporation, sublimation, sputtering ati jijera);
2. Awọn patikulu ti wa ni gbigbe si sobusitireti (awọn patikulu ṣakojọpọ pẹlu ara wọn, ti o mu ki ionization, atunda, ifaseyin, iyipada agbara ati iyipada itọsọna gbigbe);
3. Awọn patikulu condense, nucleate, dagba ati fọọmu fiimu lori sobusitireti.
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-31-2023